中古 CAMECA Lexfab 300 #293639185 を販売中

CAMECA Lexfab 300は、高性能マルチモーダルウェーハ試験および計測機器です。原子力顕微鏡（AFM）から光学分光まで様々な測定が可能な汎用ツールです。このシステムはデュアルチャンバー構造であり、上部チャンバはイメージング、フォース分光などの操作技術のためのAFMとして機能し、下位チャンバは光学測定のための分光チャンバとして機能します。AFM自体にはクローズドループスキャナが装備されており、1ナノメートルの解像度と最大100Hzのスキャン速度に達することができます。分光器には分光計と複数の照明源を備えており、反射、透過、蛍光などの測定が可能です。また、ウェーハハンドリングマシンを自動化し、2つのチャンバーに簡単かつ迅速にウェーハを転送することができます。CAMECA LEXFAB300は様々な測定が可能であり、研究開発において柔軟なツールとなっています。さまざまな条件で表面の画像を生成し、機械的剛性や接着性などの材料特性を測定し、表面の光学解析を行うことができます。半導体、金属、ポリマー、塩などの材料の特性評価に使用できます。このツールは、複数のウェーハから同時にデータを収集することも可能であり、品質保証とプロセス制御のための有用なツールです。オーバーレイ測定、欠陥調査、表面平坦度検査、プロセスパラメータの影響測定などの用途に使用できます。LEXFAB-300は半導体デバイスの製造および計測に不可欠なツールです。スループットと精度を最大化するように設計されており、研究、開発、プロセス制御に最適です。