中古 CAMECA Lexfab 300 #293637179 を販売中
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ID: 293637179
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Shallow probe metrology system. 12"
Chamber
(2) Loadports
2011 vintage.
CAMECA Lexfab 300は、半導体産業における集積回路やその他の薄膜層の性能を測定するために使用される、最先端のウェーハ試験および計測機器です。3D半導体計測市場の厳しい要件を満たすように設計されており、最高の精度と精度の測定が可能です。CAMECA LEXFAB300には、高出力のレーザーベースのオートフォーカスを採用した高精度の光学計測システムが搭載されており、非常に正確な非接触3D測定が可能です。これには、プロファイル、原子力、主要臨界寸法(CD)、線幅、臨界角度、傾き、残留応力などの重要なプロセスパラメータの最初の測定が含まれます。また、半導体デバイスの性能と信頼性を正確に測定するために、薄膜層の表面トポグラフィを評価することもできます。LEXFAB-300は、高度な光学技術と自動システムを活用し、優れた画質と測定精度を実現しています。3次元マルチビームスキャン機能を備えており、ウェーハのさまざまな部分を柔軟にスキャンして最小のフィーチャーサイズでも測定できます。高解像度CCD画像取得・加工機を搭載し、サブミクロンの精度をサブミリメートルスケールまで測定できます。Lexfab 300はまた、プログラミングを簡素化し、セットアップ時間を短縮するためのレシピやプログラムの豊富なライブラリを含む、幅広いソフトウェアオプションを提供しています。効率的なオートメーションとユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスで設計されているため、ツールは直感的で使いやすいです。また、さまざまな予知保全および品質管理オプションを提供し、ユーザーはプロセスリスクを評価し、製品の品質と信頼性を優先することができます。LEXFAB300は、高度で最先端のウェハテストと計測モデルで、高精度で精密な測定を提供します。その先進的な光学技術と機能により、優れた画質、自動サンプル処理、およびウェーハテストとデバイス性能の効率を高めるためのさまざまな予測保守および品質管理オプションが提供されます。
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