中古 CAMECA Lexfab 300 #293616123 を販売中

CAMECA Lexfab 300は、半導体ウェーハの物理的および化学的特性を測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高い精度でウェーハテスト結果を提供し、優れた再現性を提供するように設計されています。このユニットは、300mm²ウェーハまでスキャン可能な容量結合プラズマ（CCP）ソースを使用しており、現在急速に進んでいる半導体産業の急速なペースに追いつくことができます。また、ウェーハ表面の原子元素を3つの異なる波長の情報を使用して分析することができる可変圧力三波長分光計も含まれています。このデータはユーザーフレンドリーなグラフィカルレポートに表示され、結果の迅速な分析と解釈が可能になります。CCP源と三波長分光計だけでなく、ウェットエッチカソドルミネッセンス（WECL）ツールも備えています。このアセットは、コーティングされたウェーハが高い電荷にさらされたときに強烈なブルーライトを生成し、表面の欠陥を特定するのに役立ちます。また、ウェットケミカルエッチングステーションを搭載し、金属汚染物質やその他の表面汚染物質の除去が可能です。この装置を使用して、ウェーハのスペクトルイメージングとマッピングを実行することもできます。画像をキャプチャし、さまざまな形式で表示することで、汚染物質を詳細に調べることができます。また、このシステムは非常にモジュール化されており、圧力、温度、およびプラズマ源に供給される電力などのさまざまなパラメータを監視および制御することができます。これにより、再現可能な試験結果を迅速かつ効率的に生成できるようになります。全体として、CAMECA LEXFAB300は、半導体ウェーハの試験、測定、分析に優れた機械です。さまざまな強力なツールと機能を備えているため、ユーザーはウェーハテストプログラムから正確な結果をすばやく得ることができます。さらに、モジュール性により、特定のテストプログラムのニーズに合わせてツールを簡単に調整できます。