中古 BRUKER Contour GT-X8 #9399868 を販売中

BRUKER Contour GT-X8
ID: 9399868
Optical profiler, 4" 2010 vintage.
BRUKER Contour GT-X8は、半導体デバイスの特性評価の最も要求の厳しい要件を満たすように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。幅広い材料、デバイス構造、ジオメトリの特性評価を可能にする広範なツールを提供しています。このシステムには、高精度で再現性のある10nmピッチステッパーステージを備えた大型ワーキングエリアと、3Dトポグラフィ測定用の非接触光学表面プロフィロメータと高さセンサが装備されています。Contour GT-X8は、半導体デバイス上のナノスケール重大寸法(CD)の高速かつ高精度なステップアンドスキャン測定を提供します。高いスループット動作により、最も複雑な構造でも効率的な特性評価が可能です。BRUKER Contour GT-X8は、散乱計測、光干渉顕微鏡、テラヘルツ分光、音響顕微鏡などの高度なイメージングおよび測定技術を使用して、デバイス構造の完全な特性評価を提供します。シート抵抗、表面平坦度、厚さ、蒸着速度、表面粗さ、ナノ構造プロファイル、材料組成など、さまざまな物理的および電気的パラメータをその場で測定できます。輪郭GT-X8は、原子力顕微鏡、楕円測定、ナノインデンテーションなどの他のツールと統合して、追加の特性評価機能を提供できます。また、データ分析や可視化のための高性能コンピュータに接続することができます。また、自動化されたセットアップとデータ収集のためのユーザーフレンドリーなソフトウェアも備えています。直感的なインターフェイスにより、正確なパラメータ設定と高度なデータ管理が可能です。このツールの高度な分析機能を使用して、さまざまなスキャンのデータをレビューおよび比較し、データの正確性と再現性を確保できます。全体として、BRUKER Contour GT-X8は、ナノ構造の信頼性、正確性、非破壊的特性評価のための完全に統合されたプラットフォームを提供します。ナノスケール構造をイメージング、測定、分析するための高度な機能は、半導体産業の研究開発に不可欠なツールです。
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