中古 BRUKER-AXS Dektak XT #9282889 を販売中

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フォト（写真） 使用される BRUKER-AXS Dektak XT 販売のために
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販売された
ウェハ検査・計測
製造業者
BRUKER-AXS
モデル
Dektak XT
ID: 9282889
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2012
Profilometer, 6" Operating system: Windows 7 Resolution: Minimum X resolution: 0.017 microns per point Full scale ranges: 6.5 microns, 65.5 microns, 524 microns, 1mm Temperature: Operating range, 20°-25°C (68°-77°F) Relative humidity: Less than 80% (Non-condensing) Power demand: 1000 VA maximum Power connection: Standard outlet Warm-up time: 15 minutes for maximum stability Vibration: < 70 µg from 1 to 100 Hz on floor with flat noise spectrum Vacuum (For optional vacuum chuck): 457 - 635 mm Hg (18 - 25") 0.61 - .85 BAR minimum constant vacuum for system with one fitting for 4 mm (5/32") OD tubing Clean, dry Air (For optional vibration isolation pads): Max: 275kPa (40psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing Regulator adjustable to 70 - 140 kPa (10-20 psi) Clean, Dry Air (For optional floor model vibration isolation table): 345 kPa (50psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing Acoustics: < 60 dB(A) across frequency spectrum Input voltage: 100 - 240 VAC, 50/60 Hz 2012 vintage.
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BRUKER-AXS Dektak XTは、シリコンウェーハの自動品質管理および統計プロセス制御に使用されるウェーハ試験および計測機器です。BRUKER-AXS DEKTAKXTは、半導体産業における高精度ウェーハの効率的な製造に不可欠なツールです。Dektak XTの高度な技術は、ウェハコーティング断面プロファイル、地形、および表面粗さの迅速かつ正確な測定を提供します。DEKTAKXTは、ウェーハの表面に関する詳細な情報を得るために設計された多機能計測ツールです。自動化されたシステムは、超高精度、非接触、垂直スキャン、および干渉のないプロファイリングユニットを使用して、ベアおよびコーティングされたウェハの両方の地形、断面プロファイル、および表面粗さを測定します。地形測定は、並外れた感度、オプションのインターロック、サンプルデータロガーを備えたContour Technology光学プロフィロメータを使用して行われます。BRUKER-AXS Dektak XTには、0。1nmから10µmまでの精度で最高品質の結果を保証する高度なオプトエレクトロニクスコンポーネントが装備されています。BRUKER-AXS DEKTAKXTは、ウェーハ表面およびウェーハの縁の近くにウェーハコーティングおよび材料沈着を取得し、定量化することにより、品質保証を提供します。Dektak XTはまた、非破壊検査（NDT）プロセスを実装し、サンプル破壊の必要性を排除し、生産コストを削減します。DEKTAKXTは高度なオートメーションも提供しています。ロボットロード/アンロードマシンを搭載し、リアルタイムデータ取得、データアーカイブ、フルレンジのプロットオプションを備えています。これにより、ユーザーは以前にテストしたウェーハ上のデータを簡単に保存、アクセス、比較して分析することができます。BRUKER-AXS Dektak XTは、高度なウェーハテストと計測に最適なソリューションです。正確なウエハテスト、品質保証、コスト効率を保証し、半導体業界にとって理想的な選択肢となります。
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