中古 BRUKER-AXS Dektak XT #9238090 を販売中
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販売された
ID: 9238090
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2012
Profiler, 8"
With PC
Stylus options:
Stylus radius: 50 nm - 25 pm
High Aspect Ratio (HAR): 200 pm x 20 pm
X/Y Manual leveling:
Manual: 100 mm
Motorized: 150 mm
Sample R-Θ stage:
Manual: Continuous 360°
Motorized: Continuous 360°
Computer system:
64-Bit multi-core parallel processor
Operating system: Windows 9 / 7.0
Measurement technique: Stylus profilometer (contact measurement)
Measurement capability: 2D Surface profile measurements
Sample viewing: Digital magnification, 0.275 to 2.2 mm vertical FOV
Stylus sensor: Low Inertia Sensor (LIS 3)
Stylus force: 1-15 mg With LIS 3 sensor
Vibration isolation
Scan length range with scan stitching capability: 55 mm, 200 mm
Data points per scan: 120,000
Sample thickness: 50 mm
Step height repeatability: 4 A, 1σ, 51 pm (30 scans using a 12.5 pm stylus)
Vertical range: 1 mm
Vertical resolution: 1 A (6.55 pm range)
Input power: 100-240 VAC, 50-60 Hz
Humidity range: ≤80%
Vibration table included
Temperature range:
Operating range: 20°C & 25°C (68°F-77°F)
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XTは、半導体製造および計測に使用するために特別に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、シリコン材料と化合物半導体材料の両方で最大200mmまでのウェーハ上の重要寸法（CD）および表面トポグラフィーパラメータの自動測定を提供します。このユニットは、高解像度地形測定のためのステップ高さ分析や非常に正確なステップ高さおよび地形測定のためのフォーム登録（FR）などの高度な技術を採用しています。さらに、BRUKER-AXS DEKTAKXTは、抵抗、静電容量、および表面バリア抵抗などの多くの電気特性を測定することができます。Dektak XTは、高精度の計測ツールを使用して、ウェーハ上のナノスケールの特徴を決定する際のサブアングストローム精度を提供します。効率的なマシンには、コンピュータ制御のZモーションドライブと、速度を犠牲にすることなくウェーハ上の小さな特徴を正確に測定するための精密なXモーションガイドが含まれています。DEKTAKXTは、10 μ m〜50 μ mの動作範囲で、微細構造やナノ構造の測定に最適化されています。BRUKER-AXS Dektak XTは、ウェーハの正確な測定に加えて、今日の薄いウェーハに必要な比類のないカバレッジのためにステージの下の領域への広い、妨げられないアクセスを特徴とする人間工学的設計を備えています。40 μ mまでの特徴を測定できる共焦点光学によって、さまざまなイメージング機能が提供されています。スキャンヘッドにより、10 μ mから200 μ mまでのスポットサイズを設定できます。BRUKER-AXS DEKTAKXTは、半導体製造に最適化された高精度の自動計測ツールです。Step Height AnalysisやForm Registrationなどの高度な機能により、ウェーハ上のナノスケールおよびマイクロスケールの機能を正確に測定できます。効率的なモーションコントロールにより、最大速度でサブアングストローム精度を実現します。人間工学に基づいた設計により、ステージ下のエリアに簡単にアクセスでき、迅速かつ正確な測定を効率的に管理できます。さまざまなイメージング機能とスポットサイズが、Dektak XTの汎用性をさらに高め、今日の複雑な半導体デバイスの効率的な測定を容易にします。
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