中古 BRUKER-AXS Dektak XT #9237895 を販売中
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BRUKER-AXS Dektak XTは、半導体ウェーハや回路基板を含む幅広い表面の地形とプロファイルの両方を測定するために設計された高精度、多目的ウェーハ試験および計測機器です。このウェーハテストおよび計測システムには、組成、結晶方向、厚さ分布の観点から幅広いサンプルを分析できる高分解能、低ノイズの共焦点ラマン画像モジュールが装備されています。この顕微鏡は、最大5nmの解像度でサンプルの地形画像を取得するための自動Z軸フォーカシングユニットを備えています。さらに、電動X-Y-zステージや回転ステージなど、あらゆるサンプル位置決めデバイスをサポートし、正確なサンプルプロービングに柔軟性と精度を提供します。BRUKER-AXS DEKTAKXTには、プロファイルおよびステップ測定、表面粗さ測定、ピーク/トラフ測定、3Dプロファイル屈折、単層解析など、さまざまな表面解析技術があります。ナノメカニカルプロービングマシン、表面プロファイロメータ、光学プロファイロメータ、表面荷重特性を測定するための原子力顕微鏡(AFM)、スペクトル反射計など、幅広いプローブを備えています。また、非接触面特性評価用の干渉光学顕微鏡を内蔵しており、サンプル倍率は実寸の200倍、サブミクロン分解能を実現しています。Dektak XTは、特徴サイズ測定、臨界寸法測定、線幅測定、センターライン測定、粒度/表面仕上げ測定など、さまざまな測定機能も提供しています。さらに、このウェーハテストおよび計測ツールには、3Dおよび2Dサンプルサーフェス、リモートテクニックコントロールパッケージ、ポイントフィルタのライブラリの両方を測定できるAnalYSソフトウェアなどのソフトウェアパッケージが付属しています。全体として、DEKTAKXTは高度で信頼性の高いウェーハテストおよび計測資産であり、研究者やエンジニアがさまざまな表面の地形やプロファイルを正確に測定することができます。フレキシブルなサンプルポジショニングデバイスと専用ソフトウェアパッケージを組み合わせた最先端の技術は、あらゆる種類の表面解析に最高レベルの精度と再現性を提供します。
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