中古 BROOKS AUTOMATİON Fixload 6 #293665341 を販売中
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ID: 293665341
ヴィンテージ: 2011
Loadports
Used for NOVA NovaScan 3090 Next
Robot
Mini env frame
Track
Controller
2011 vintage.
BROOKSオートモーティブFixload 6は、ウェーハテストおよび計測環境における高いスループット、精度、および信頼性を目的に設計されたウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、最先端のハードウェアと強力なソフトウェアを誇り、ウェハの厚さ、総厚さのばらつき、ウェハ間の平坦度、および半導体製造のための毎時数百サンプルの結晶欠陥の識別などのパラメータを正確に測定します。最先端のハードウェアは、オプトエレクトロニクスベースのマルチパラメトリックセンサーユニット、サーマルイメージング用の高解像度CCDカメラ、および精密レーザー変位測定センサーを備えています。これにより、ウェーハ厚さ1,000ミリの正確で信頼性の高い測定と、ボイド、クラック、ピンホールなどの結晶欠陥の検出と特性評価が保証されます。Fixload 6の高速ウェーハトランスポートは、高い精度を維持しながら、高速データ収集と高いスループットレートを保証します。さらに、オートキャリブレーション機能により、手動キャリブレーションの必要性を最小限に抑え、パフォーマンスを最適化し、所有コストを削減します。このマシンのソフトウェアは、科学者やエンジニアがさまざまな欠陥特性を検出して理解するための包括的な分析ツールを提供しています。これらには、欠陥の種類とサイズを正確に定量化した2Dおよび3D解析が含まれます。自動化されたデータ抽出と分析は、表面粗さ、クリティカル寸法、ダイツダイ配置、およびその他のチップレベルの欠陥などのパラメータの強力な操作とフィルタリングによって可能になります。これらの機能は、統合されたマッピングルーチンによって補完され、迅速かつ正確なウェーハパターニングを可能にします。BROOKS AUTOMI Fixload 6のユーザーフレンドリーなソフトウェアには、使いやすい統計的プロセス制御ツールと、レシピ開発をサポートするエラー軽減アルゴリズムが含まれています。また、ユーザーは高精度のユニークなアプリケーションのためのソフトウェアをカスタマイズすることができます。最後に、Fixload 6には、ウェーハアライメント、光学テスト、および拡張ウェーハテスト機能のプッシュ/プルスキャン機能など、さまざまな高度なオプションが含まれています。このツールは、最適化されたデータ取得、サンプル準備、および詳細な分析を提供するために、あらゆる種類のプロセスに統合することができます。高度な機能により、迅速で正確で信頼性の高いウェーハテストと計測を必要とするユーザーは、BROOKS AUTOMA Fixload 6を使用してニーズを満たすことができます。
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