中古 ASML YieldStar T-200C #293667079 を販売中

ID: 293667079
ヴィンテージ: 2013
Overlay measurement system 2013 vintage.
ASML YieldStar T-200Cは、半導体アプリケーション向けに設計されたウェーハ試験および計測機器で、正確な空間分解能と画質を提供します。ダイサイズ、形状、厚さ、抵抗、組成などの重要なウェーハパラメータを正確に測定できます。MEMSや高度なパッケージング部品など、さまざまなウェーハ構造を測定できる汎用性の高いツールです。YieldStar T-200Cには、ライン/ピクセル指向の充電結合デバイス(CCD)検出器と高度な光学設計を使用する高度なスキャンモードイメージングシステムが装備されています。この光学設計は、ウェーハ測定の分解能と精度を最大限に高めます。ユニットは、必要な応答データの種類に応じて、解像度を4K-9Kすることができます。このマシンは自動テストステーションも備えています。このステーションは、エッジ配置、フォトリソグラフィー、層の厚さ、抵抗率などの試験結果からデータを取得および分析するために使用されます。ユーザーは、さまざまな種類のウェーハにツールを調整するために、テストサイトの数とプロセス設定を制御することができます。ASML YieldStar T-200Cは、完全に自動化された操作と自動校正手順を提供し、最高の精度を提供します。ユーザーフレンドリーなWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、テスト結果の校正、測定、分析が簡単に行えます。また、振動や熱膨張による画像の歪みやウェーハの収縮を最小限に抑える画像安定化機能も備えています。このモデルは、工業生産環境向けに設計されており、最適な性能を確保するための広範な環境監視装置が含まれています。システムには、ユニット診断、環境テスト、および自動校正機能を内蔵した高度な品質保証スイートが装備されています。このマシンには、すべてのテスト結果とトレーサビリティのためのデータを記録するデータロギングツールも装備されています。最大の精度を確保するために、アセットには正確なテスト結果を保証する内蔵のテストアルゴリズムがあります。このモデルは、メニュー駆動のソフトウェア設定を備えており、ユーザーは特定の要件に合わせてデータ取得プロセスをカスタマイズすることができます。さらに、この機器には、生産効率を高めるために事前に定義されたテスト手順を備えた組み込みライブラリも備えています。
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