中古 ASML YieldStar S250 #9359414 を販売中

ASML YieldStar S250は、ウェーハパラメータの迅速かつ信頼性の高い測定を可能にするように設計されたウェーハテストおよび計測機器で、歩留まりの向上と一貫して高品質を実現します。このシステムは、ハイスループットアーキテクチャを備えた300mmインライン計測モジュールを内蔵しています。これにより、シート抵抗、横形状、欠陥密度、薄膜厚などのウェハーパラメータ、およびドーパントレベル、酸化層厚さ、残留応力分布などの関連するデバイスパラメータを測定できます。OCRおよびOGIデバイスは、割れや粒子沈着などの問題を検出するためにも使用できます。このユニットは、これまでにない速度と精度でシリコンウェーハと非シリコンウェーハの両方をテストすることができます。これは、高度な校正技術と最適化されたオーバーヘッド視野を使用しており、ウェーハが中心でなくても正確な測定を行うことができます。これは、ツールがそのパフォーマンスで信頼性と再現性があることを保証します。さらに、このアセットにはレーザー干渉計モデルが搭載されており、1ナノメートルの解像度までのイントラダイの臨界寸法を測定できます。これにより、各ダイのパターン構造や互いの配置を正確に決定することができます。YieldStar S250には、データ損失やその他の問題を防止するための数多くの安全機能とテクニックもあります。制御された環境で動作するように設計されており、クローズドループプロセス制御用のリアルタイムスクリーン監視システムと診断および障害回復用の自動化されたユニットチェックを備えています。これらの機能を組み合わせることで、ASML YieldStar S250量産中のウェーハの品質を監視および分析するための理想的なマシンとなります。このツールを使用することで、メーカーは早期に問題を検出し、全体的な歩留まりと信頼性を向上させることができます。