中古 ASML YieldStar S100 #293625705 を販売中

ASML YieldStar S100
ID: 293625705
Overlay measurement system (IMM, DBO) (2) Load ports Chamber.
ASML YieldStar S100は、半導体デバイスの特性評価および分析に使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、精密計測のための高度なレーザー干渉計だけでなく、高スループット効率とデータ処理と分析のための高度なソフトウェアを備えています。ASML YIELDSTAR S-100は、赤外線アライメント(IR-LAL)技術を使用して試験時間を短縮し、± 10nmまでの精度を高めます。このユニットは、ウェーハ構造上の2D構造と3D構造の両方を測定することができます。また、表面トポグラフィ、線幅測定、粗さマッピング、欠陥イメージングなどの表面特性評価技術を利用しています。YieldStarは、大きなダイナミックレンジ、優れた信号対ノイズ比、および高分解能を備えており、ウェーハ構造の非常に小さな変化を検出することができます。また、ウェーハで非破壊検査を実行する機能も備えており、デバイスのパフォーマンスに影響を与える可能性のある非常に小さなプロセスの変更を迅速に検出するために使用できます。また、詳細なレポートや分析結果を提供することができ、迅速かつ効果的な意思決定を可能にします。さらに、レポートは特定のアプリケーションのニーズに合わせて調整することができます。さらに、広範な測定アルゴリズムのライブラリにより、広範なプログラミングやキャリブレーションなしで詳細な精度要件を満たすことができます。これらの機能に加えて、YieldStarは直感的なユーザーインターフェイスと、ステップバイステップの操作のための画面上の指示も提供します。また、優れたリモート制御およびデータ転送機能を備えているため、データをオフサイトで保存、分析、エクスポートすることができます。全体として、YieldStar S100は、優れた精度とスループット機能、直感的なユーザーインターフェイス、広範な測定アルゴリズムのライブラリを備えた高度なウェハテストおよび計測ツールです。半導体デバイスの特性評価・解析に最適なソリューションです。
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