中古 ASML YieldStar S100 #293621217 を販売中
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ID: 293621217
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Overlay measurement system (IMM, DBO)
(2) Loadports
Chamber.
ASML YieldStar S100は、欠陥を検出し、重大な寸法を測定するように設計された高度なウェハテストおよび計測機器です。この自動光学検査システムは、パターンを認識し、複数のタイプの基板を処理することができます。高精度の3軸リニアモーターステージと高度で高性能なイメージングユニットを備えています。ASML YIELDSTAR S-100は、最大200mmまでのウェーハで50nmまでの欠陥を検出することができます。また、複数の基板タイプをテストし、ライン幅や間隔、トレンチの深さ、突起など、さまざまなフィーチャーサイズを測定する機能も備えています。この機械には、分光、UV照明、輪郭認識、画像相関、粒子分析など、さまざまな高度なイメージングおよびパターン認識技術が装備されています。YieldStar S100は高度に自動化されており、1回のテストでウェーハサンプルを一括処理できます。安定した長距離カメラやパターン認識ツールを内蔵したオートフォーカス機構など、多種多様な光学計測機器を搭載しています。この資産は、欠陥を迅速かつ正確に検出し、歩留まり率と生産効率を向上させるように設計されています。データ分析の面では、YIELDSTAR S-100は多くの強力な機能を提供しています。欠陥画像を解析し、欠陥の発生や性質を検出できる組み込みソフトウェアライブラリを搭載しています。また、欠陥の根本原因を特定できる高度なパターン認識技術を備えています。この強力なモデルは、パターン開発の傾向を特定することもでき、品質管理とプロセス最適化を改善するために使用することができます。全体として、ASML YieldStar S100は、欠陥を検出し、重要な寸法を迅速かつ正確に測定できる高度なウェハテストおよび計測機器です。自動化されており、強力なデータ分析ツールを提供しているため、より高い歩留まりと効率的な生産を求める半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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