中古 ASM Dragon 2300 #9294446 を販売中

ASM Dragon 2300ウェーハテストおよび計測機器は、高度な歩留まりに焦点を当てたプロセス制御を作成するために特別に設計された汎用性と強力なプラットフォームです。このシステムは、自動光学検査（AOI）、抵抗計測、誘電容量計測、および3Dプロファイリング計測技術を組み合わせて、詳細なウェーハ情報を迅速に取得および分析します。このユニットは、高度な電動ウェーハステージを備えており、正確な結果を保証するために迅速かつ正確なウェーハアライメントを可能にします。AOI on Dragon 2300は、ブライトフィールドイメージング技術を使用して、パターンの欠落や破損、汚染、薄膜欠陥、ショーツなどの欠陥を検出します。エッジ検出などの機能により、他の方法では検出できない細かい欠陥を検出することができます。抵抗測定法は、パターンの抵抗を使用してウェーハの前面表面に関する情報を取得します。誘電容量計測は、ICの静電容量を素早く測定し、特定の回路に存在するショートを特定するのに役立ちます。3Dプロフィロメトリー計測により、ウェーハの地形を10nmの解像度まで特徴付けることができ、3ミクロン未満の微細な非導電特性と空隙を正確に測定することができます。このツールはまた、画像の使いやすい分析を可能にする多数の画像処理ツールを備えており、迅速な歩留まりと有効性の研究を可能にします。これらのツールは、様々な歩留まりパラメータの探索を可能にし、包括的なデータ分析のための輪郭マップを生成することができます。ASM Dragon 2300は、ウェハボンディング、化学機械研磨（CMP）、はんだバンプ、バンプ高さ計測など、他の多くのアプリケーションに使用できます。この資産は、さまざまなプロセス制御のニーズを満たすためにカスタマイズすることができます。さらに、Dragon 2300は、最も厳しい再現性と精度の要件を満たすように設計されており、生産環境に最適です。