中古 ASM Dragon 2300 #9293646 を販売中

ASM Dragon 2300
製造業者
ASM
モデル
Dragon 2300
ID: 9293646
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
PECVD System for barrier, 12" 2003 vintage.
ASM Dragon 2300は、高精度、精度、自動化、およびプロセスの柔軟性を兼ね備えたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学ツール、大きな露出領域ステージ、および最高レベルのプロセス制御と再現性を可能にする堅牢なソフトウェアアーキテクチャを組み合わせています。光学ツールは、ユニットに高い精度と解像度を与えるダブルパス光学設計を利用しています。最大46mmの視野と最大290mmの拡張を備えたDragon 2300は、あらゆるサイズのデバイスを設計、検査、測定するためのかつてないレベルの柔軟性を提供します。3Dサンプルの再構築、非破壊検査のための並列/スターク電力測定、自動化されたダイフェイル検査など、幅広いビジョン機能を提供します。ASM Dragon 2300の包括的なソフトウェアパッケージは、モジュラーでスケーラブルなオープンアーキテクチャをユーザーに提供します。オープンプラットフォームとして、このマシンはモデルとテクノロジーの豊富なライブラリをサポートしており、ユーザーは特定のプロセス要件に合わせてツールを構成することができます。その直感的なユーザーインターフェイスは、オプションを提案し、テストと検査の設計を支援します。このソフトウェアは、測定とテスト手順を正しく実行することにより、プロセス制御と精度を最大化する能力をユーザーに提供します。Dragon 2300はまた、お客様に幅広い自動計測オプションを提供しています。自動真空生成と統合ベクトル洗浄、非破壊検査のための自動光学検査が提供されます。また、ウェーハダイシングやハンドリング、ウェーハマッピング、手動自動サンプルステージスワップなど、さまざまなオプション機能もサポートしています。最後に、ASM Dragon 2300のインフラストラクチャは、複数のサンプルとロットを同時に処理することができます。高精度のリニアモータにより、高速なサンプル転送が可能です。一方、高度な真空アセットは、信頼性の高いサンプル処理と自動計測のための正確で制御された空気供給を提供します。Dragon 2300は、高度な光学およびソフトウェア機能と広い露出領域ステージを組み合わせることで、複数の業界にわたるウェーハテストおよび計測に業界トップクラスの精度と解像度を提供します。この非常に柔軟で包括的なモデルは、あらゆるサイズのデバイスを設計、検査、測定するプラットフォームをユーザーに提供します。
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