中古 ASM Dragon 2300 #9290805 を販売中

ASM Dragon 2300装置は、リソグラフィおよび検査プロセス用に設計された最先端のウェハテストおよび計測ツールです。薄膜トランジスタ、シリコン・オン・インシュレータ（SOI）、有機発光ダイオード（OLED）など、さまざまな半導体関連材料の試験に適したハイエンド光学およびスキャン機能を提供します。このシステムは、複数のウェーハの非同期測定を同時に可能にするため、ウェーハのテスト時間を劇的に短縮することができます。Dragon 2300は、2段ビデオ顕微鏡と一体化したナノ精度の回転ヘッドを備えたユニークな二軸スキャンユニットを備えています。この構成により、ウェーハ表面の高速かつ一貫したサンプリングが可能になり、ウェーハの地形を検査するために必要なサブミクロンレベルの測定が可能になります。さらに、高解像度イメージングセンサとソフトウェアを搭載し、質感、粗さ、表面上昇などの光学特性を評価します。ASM Dragon 2300のもう1つの便利な機能は、その強力な埋め込みソフトウェアです。これには、マシンとのユーザーインタラクションを簡素化するグラフィックユーザインタフェース（GUI）と、ウェーハ表面をリアルタイムで評価するための自動画像処理ルーチンが含まれます。ソフトウェアはまた、ウェーハの欠陥などの他のパラメータに測定を拡張することができます。さらに、Dragon 2300は、ギャップ、幅、深さなどの重要な寸法パラメータを極端な精度で測定するための統合検査ソリューションを提供します。この機能により、プロセス制御と最適化が可能になり、ウェーハの生産コストを削減し、歩留まり品質を向上させることができます。ASM Dragon 2300は、寸法計測に加えて欠陥解析とレビューを実行するオプションも提供します。これは、高解像度イメージング機能と自動ソフトウェアルーチンを使用して行うことができます。Dragon 2300ツールには、ウェーハを迅速かつ効率的に検査および分析するための完全に自動化された資産も含まれています。これには、データロギング機能、部品のローカリゼーション、プロセスパラメータを制御して一貫性と再現性を高める機能が含まれます。要約すると、ASM Dragon 2300ウェーハテストと計測モデルは、リソグラフィとウェーハ検査のための最先端のツールを提供します。その特徴は、あらゆる欠陥に対するウェーハの迅速かつ正確な評価を可能にし、複雑な半導体デバイスの効率的な製造を保証します。