中古 APPLIED PRECISION / RUDOLPH WaferWorx #9248266 を販売中
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ID: 9248266
Probing process analysis system
P/N: 53-450000-001
GENMARK Robot and prealigner
OLYMPUS MX80-F Inspection microscope
Objectives: 5x, 10x.
APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorxは、一貫した高品質のウェーハ製造プロセスを保証するウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、半導体および集積回路業界におけるさまざまなウェーハ試験および計測分析ニーズに対応する複数のソリューションを提供します。RUDOLPH WaferWorxユニットは、ウェーハや複雑な構造物のさまざまな表面および高さ特性を測定することができます。X線の反射や散乱、光学顕微鏡や電子顕微鏡、プロービング技術など、さまざまな機能を提供しています。これらの技術により、電圧、抵抗、表面形態などのパラメータを正確に評価することができます。APPLIED PRECISION WaferWorxを使用すると、あらゆるウェハの表面の形状、プロファイル、質感を高精度に決定できます。また、ウェーハ上のバンプ、スパイン、ピットなどの特徴を測定することができ、製造プロセスに不可欠です。ウェーハベッドチルト自動測定モジュール、表面形状測定モジュール、立体構造イメージング装置を搭載しています。また、オートフォーカスツールを装備しており、正確なウェーハの位置決めと測定を保証します。このアセットはレーザービームのたわみも使用しており、正確なスキャンとイメージングが可能です。さらに、独自のInteractive Focus Alignment Tool (IFAT)アルゴリズムが利用可能で、特定のテストおよび測定要件に応じてさまざまなパラメータを設定できます。このモデルは、安全なデータ転送とストレージのためのマルチユーザー通信プロトコルもサポートしています。複数のソフトウェアアプリケーションを使用して操作でき、業界標準のリモートアクセスもサポートします。WaferWorx装置は取付け、使用すること容易です。ウェーハステージ、プロセッサ、モニタ、レーザービーム偏向など、複数のハードウェアコンポーネントが含まれています。さらに、ウェーハデータの保存・分析機能を備えたモニタリングモジュールも搭載しています。APPLIED PRECISION/RUDOLPH WaferWorxは、一貫した高品質のウェーハ製造プロセスを保証する高度なウェーハテストおよび計測ユニットです。X線反射や散乱、光学顕微鏡や電子顕微鏡、自動ウェハベッドチルト測定など、さまざまな機能を備えており、電圧、抵抗、表面形態などのパラメータを正確に評価できます。さらに、このマシンはインストールと使用が簡単で、複数のソフトウェアアプリケーションをサポートします。
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