中古 AMRAY / KLA / TENCOR AIT I #9401208 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT Iは、半導体デバイスの量産および能動的モニタリング用に設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、ウェーハキャリアの処理、ウェーハアライメント、サンプル配置、計測データ取得などの完全自動シーケンスを使用して半導体ウェーハを測定します。このユニットには、デュアルジョイントアームを備えた計測ステーション、サンプルキャリアローダーとアンローダー、ビジョンマシン、および自動表面スキャンを実行するスピンドルモーターが含まれています。堅牢で反復可能なウェーハチャックは、測定の精度と再現性を確保するために、測定アームと正確にウェーハを整列させます。計測アームは、高精度のサブミクロン移動が可能で、極めて精度の高い小型デバイスやバンプの測定が可能です。KLA AIT Iは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。GUIは、リアルタイムプロセスフィードバック、統計的プロセス制御を備えたフィードフォワード機能、生産およびプロセス最適化のための高度なデータ分析を提供します。また、プロセス開発およびプロセス工学のための包括的なプロセスおよびウェーハエンジニアリングツールも提供しています。このツールは、表面の地形、電気伝導、画像のコントラスト、反射率など、さまざまなパラメータを測定できます。ホットスポットや故障などの問題の予測とトラブルシューティング、膜厚と滑らかさのモニタリング、構造の粗さと曲率のチェック、抵抗特性の評価、半導体デバイスの欠陥の評価に使用できます。TENCOR AIT Iは、信頼性の高いデータキャプチャと分析を提供する高度なハードウェアおよびソフトウェアアーキテクチャを搭載しています。革新的なウェーハハンドリングアセットにより、高い再現性と精度でウェーハをステーションにロードできます。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンGUIと統合されたソフトウェアツールにより、オペレータは簡単に機械を制御し、高速で信頼性の高い測定を行うことができます。このモデルは信頼性と手頃な価格で、大量の半導体製造に適しています。高度な画像処理およびマシンビジョン装置により、高速で正確な計測データを提供します。統合されたソフトウェアツールは、プロセスの傾向を特定し、製品歩留まりを改善するのに役立ちます。