中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9236866 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM
ID: 9236866
ウェーハサイズ: 8"
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEMは、高度なメモリ製造プロセスのニーズを満たすように設計された完全なウェハテストおよび計測ソリューションです。強力なイメージング、解析、校正機能を備えたAMAT VeraSEMは、既存の生産ライン環境に簡単に統合できます。アプライドマテリアルズVeraSEMは、高度な分光イメージング技術を使用して超高感度を実現し、迅速な測定と迅速な結果を提供します。高度なプラットフォームにより、サンプルステージに配置されたウェーハで正確でリアルタイムなデータ収集が可能です。VeraSEMは、材料の2Dおよび3D断面の両方の検査を通じて、粒子、ナノ粒子、欠陥、およびZ高さ特性の優れた検出および分析を提供します。この装置は、広範囲のウェーハ形状上の数百万のデータポイントをキャプチャし、処理する強化された熱伝導走査電子顕微鏡(ThermoSTEM)を採用しています。この解析では、材料に対する優れた感度、表面導電性、グレインキー、向き、およびその他の重要なパラメータを提供します。カスタマイズ可能な200-2500V加速電圧範囲とAMAT/APPLIED MATERIALTS VeraSEMの40-80 nA電流範囲により、結晶構造イメージングが可能です。AMAT VeraSEMのウェハマッピング機能は、ウェーハ全体で複数のセンシングポイントまたはターゲット領域をマッピングし、デュアルポジションのサンプルステージを使用して同時に測定することにより、より小さなデバイスの包括的なテストを容易にします。最大50kX倍の倍率と高解像度のイメージング機能により、最大0。2nmの解像度を実現します。この操作は、中央制御ステーションからリモートで監視でき、画像データをアーカイブするためのオンボードデータストレージシステムを備えています。APPLIED MATERIALS VeraSEMのコアオペレーションに加えて、ウェーハテストの管理、最適化、データ分析操作を容易にするためのフルスイートのソフトウェアソリューションを提供しています。Unit Managerソフトウェアを使用すると、ユーザーは安全な認証を使用してネットワーク環境全体で複数のリソースにアクセスできます。欠陥インテリジェンス、パーティクルサイジング、ウェーハ対称性、幾何学分析などの自動測定操作は、Advanced Metrology Suiteをサポートしています。このマシンには、業界の品質基準を基本的に遵守するための安全なデータバックアップおよびアーカイブソリューションも含まれています。結論として、AMATによるVeraSEMは、高度なウェーハテストと計測に優れたソリューションを提供します。強力なイメージング、分析、キャリブレーション機能、リモート監視のサポート、安全な認証とデータストレージ、データ最適化のためのオンボードソフトウェアを組み合わせることで、プラットフォームをさまざまな生産ライン環境に合理的に統合できます。
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