中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9196915 を販売中
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ID: 9196915
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
3D Scanning electron microscope (SEM), 8"
Wafer shape: SNNF
PP Miraial, 8"
No SMIF interface
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V - 2000V
Probe current:
Low: 5pA
Medium: 10pA
High: 20pA
Electromagnetic lens: 3 Stages electromagnetic lens
Boosting voltage: Beam deflector module
Objective lens
Scan coil: 2 Stages electromagnetic deflection (X & Y-axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100µm to 0.25µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Asspect ratio: >14:1
Tilt function: 5 Degrees (4 Directions)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
COHU CCD Camera: Monochrome
Magnification: 16x / 220x (450µm / 6000µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
HDD Capacity: 73 GB
Memory: 1024 MB
SECS/GEM Communication interface
Wafer stages: ANORAD X,Y & Z Stages
Moving speed: 300 mm/sec
Function target: Faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability: Notch / Orientation flat
Pre-alignment: Sensing by CCD bar (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Uninterruptible power supply: POWERWARE+Plus 18/18
Dry pump load lock: EBARA AA20
Dry pump chamber: EBARA A10S
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEMは、最高レベルの精度、精度、スループットを提供する高度なウェーハ試験および計測機器です。AMAT VeraSEMの堅牢で柔軟かつ強力なプラットフォームにより、統合されたソリューションにより、ウェーハテストの品質、生産性、歩留まりを向上させます。APPLIED MATERIALS VeraSEMは、スキャナーとサンプルステージ、高度なウェーハ検査ユニット、光検査とフォーカスセンシングマシン、レーザーツールの4つの主要コンポーネントで構成される統合システムです。VeraSEMのスキャナとサンプルステージは、精密で繰り返し可能なスキャンとサンプルの位置決めを提供し、最大限のテスト効率を保証するように設計されています。このアセットは優れた再現性と安定性を備えており、複数の操作で同じスキャン位置とサンプル位置を保持します。AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEMの高度なウェーハ検査モデルは、高度な光源、特殊なフィルター、センサーを使用して、ウェーハの弱点、泡、傷などの欠陥を迅速に特定します。また、ウェーハの厚さ、平坦度、傾きを正確に測定することができます。光学検査とフォーカスセンシングシステムは、高精度の表面検査と裏面検査を可能にし、生産プロセスに影響を与える可能性のある問題を検出します。このユニットは、小さな欠陥の測定と追跡も可能で、ウェハの状態を総合的に把握できます。最後に、レーザーマシンは、ウェーハプロファイル、IPE、 EPE、およびZernike分析を正確に測定するために使用されます。また、粒子、ピットなどを検出するための正確な測定も提供します。AMAT VeraSEMは、幅広いウエハサイズをテスト、測定、検査するオールインワンソリューションを探しているあらゆるビジネスに最適です。このツールの精密かつ再現性の高いスキャン、高度なウェーハ検査、光学検査およびフォーカスセンシング、およびレーザーシステムは、ウェーハテストと計測のための強力なツールです。
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