中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9130176 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEMは、自動化されたウェハテストおよび測定プロセスにおいて高精度かつ再現性を実現するウェハテストおよび計測機器です。このシステムには、0。5nmの航続精度を実現する高精度の走査型電子顕微鏡が組み込まれており、デバイス製造のすべての段階をカバーする幅広い測定機能が搭載されています。さらに、高度な光学認識機を使用して、ウェーハ上のデバイス、アクティブ領域、欠陥を識別します。これにより、表面形態や組成、欠陥、膜厚、オーバーレイ登録、ドーピングプロファイルなどの特性を正確かつ調整することができます。AMAT VeraSEMは、テスト中にウェーハの安定性を保証する自動ウェーハハンドリングツールも備えています。このアセットは、さまざまな形状、サイズ、および方向のウェーハを処理することができ、テスト中にウェーハの向きが維持されるようにします。さらに、線幅、オーバーレイ精度、厚さなどのデバイス特性を測定する計測ツールや、ウェーハ上のナノスケール物体を表示および分析するためのイメージング機能を提供します。この装置には2つの渦電流測定技術が組み込まれており、薄膜厚、金属膜ストレス、金属線の抵抗率を高速かつ正確に測定できます。これにより、薄膜やデバイス上の金属層をより正確に識別および測定することが可能になります。最後に、APPLIED MATERIALS VeraSEMは直感的なユーザーインターフェイスと包括的なソフトウェアによってサポートされており、データの収集と分析を簡素化します。これにより、ユーザーはジョブを簡単に作成およびカスタマイズし、詳細なデータ分析で包括的なレポートを作成できます。さらに、差別化装置などの他のシステムやデバイスと統合することができ、複数の異なるデバイスを同時にテストするのに理想的です。