中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9412455 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、原子レベルの電子構造の重要寸法を正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。非破壊的で高解像度の画像処理技術と分析技術を使用して3Dマイクロストラクチャーを研究することができます。AMAT VeraSEM 3Dは、デバイス内の個々の機能のトポロジーと方向に関する情報を提供し、トップダウンの特性評価を提供するように設計されています。このシステムは、フィーチャー測定の複雑さに応じて、1ダイあたりの測定時間が秒単位から数分まで、1時間あたり最大20のウェーハ位置のスループットを備えています。このユニットは、イメージングチャンバー、走査型電子顕微鏡、サンプル準備段階など、多くのコンポーネントで構成されています。イメージングチャンバーは濡れた機械であり、サンプルを収容しているため、適切なデバイス測定のための望ましい環境でのイメージングが可能です。走査型電子顕微鏡（SEM）は、5ナノメートル以下のサイズの画像を作成できる超高解像度ツールです。最後に、サンプル準備段階を使用して、イメージング用の平坦でクリーンな表面を作成し、サンプルをイメージング用の均質な層に加工します。APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、スキャンタイプとスキャンルートを自動化し、ユーザーがオンザフライイメージングと計測、および事前定義された3D解析ルートをプログラムできる機能を備えています。また、膜厚測定や組成解析、コンポジションマッピング、高度な画像解析など、さまざまな高度な計測機能を提供しています。VeraSEM 3Dのパフォーマンスは、その結果を包括的に分析することができるその洗練されたソフトウェアの使用によってさらに強化されています。このソフトウェアは、デバイス寿命予測、多層デバイスシミュレーション、統計プロセス制御などのさまざまなアプリケーションに使用できる画像および測定データを分析および解釈するためのデータ集約ツールを提供します。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、原子レベルの電子構造の重要な寸法を分析するために設計されたウェーハ試験および計測モデルです。その高度なソフトウェア機能により、複雑なスキャン、イメージング、分析プロセスが可能になり、さまざまなアプリケーションに使用できます。