中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9293429 を販売中
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ID: 9293429
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
SMIF Type
Reticle size, 6"
Wafer of type: Notch at 6 o'clock
Stage: (3) Load ports
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、AMATの新世代ウェハテストおよび計測ソリューションです。最先端の機器アーキテクチャと最先端のセンサー技術を備えており、今日入手可能な最も強力なウェーハ試験および計測ソリューションの1つです。AMAT VeraSEM 3Dは、マッピングレーザー、表面分析器、イメージングカメラの3つのコンポーネントセンサーと高度なシステムアーキテクチャを統合したマルチセンサプラットフォームを利用しています。マッピングレーザーは、高速で非破壊的な光ビームを使用してウェーハの表面を正確にマッピングし、表面イメージングと分析のためのデータを提供します。サーフェスアナライザは、サーフェストポロジー、プロファイル、粗さ特性などの正確なサーフェスキャラクタライゼーションデータを提供します。最後に、イメージングカメラはウェーハの詳細な表面画像をキャプチャし、微細構造欠陥やその他のバリエーションに関する貴重なデータを提供します。アプライドマテリアルズVeraSEM 3Dは、ウェーハテストと計測における数十年にわたる経験を活かし、お客様に比類のないレベルの精度と再現性を提供します。5nmよりも優れた3D表面分解能を実現し、最小のフィーチャーサイズはわずか40nmです。その高度なアルゴリズムは、0。1ミクロンのサイズ変動の特徴を検出し、測定することができます。このユニットには、欠陥検出と分類のための独自の画像解析アルゴリズムも装備されており、オペレータにプロセスのバリエーションを迅速かつ確実に検出および制御する方法を提供します。VeraSEM 3Dは、半導体および関連産業の厳しい要件を満たすように設計されています。高速データ収集および処理機能により、オペレータは欠陥を迅速かつ正確に特定し、必要に応じてプロセス修正を開始することができます。また、専用のユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、ウェーハの検査と計測タスクを簡素化し、完全なカスタマイズを可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、最先端のセンシング技術、ツールアーキテクチャ、独自のアルゴリズムを組み合わせ、優れた精度と再現性を提供する強力で汎用性の高いウェハテストおよび計測ソリューションです。これにより、オペレータはウェーハの微細構造欠陥やその他のバリエーションを容易に分析でき、プロセス制御と歩留まり向上を迅速に最適化できます。
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