中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9138846 を販売中
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ID: 9138846
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Automated CD metrology system, 8"
Open cassette
Wafer shape: Semi notch no flat (SNNF)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
Objective lens:
Scan coil 2-stage electromagnetic deflection (X- and Y-Axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100um to 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio >14 : 1
Tilt function 5 degrees (4 Direction)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220 x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (8")
External power distribution unit
Fun filter unit
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY Emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V to 2,000V
Electromagnetic lens 3 stage electromagnetic lens
System with boosting voltage beam deflector module
Probe current:
Low: 5 pA
Medium: 10 pA
High: 20 pA
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムにより、成膜、エッチング、リソグラフィ、マスク加工など、さまざまなウエハ製造プロセスの精密分析が可能になります。AMAT VeraSEM 3Dは、電子顕微鏡や自律光学顕微鏡など、さまざまな強力な機器を提供しています。アプライドマテリアルズVeraSEM 3Dは、生産環境と研究開発環境の両方のニーズを満たすために多くの機能と利点を提供する高性能ユニットです。この装置で使用される主な工具は電子顕微鏡であり、ウェハの特徴を正確に測定し、サンプルの完全な地形図を作成することができます。このマップは、堆積層の欠陥、下部構造、および組成を検出するために使用できます。また、この顕微鏡はウェーハ内部構造の詳細な解析を可能にし、50以上の表面パラメータを測定することができます。電子顕微鏡の他の特徴には、自動粒子解析や高度なイメージング機能があります。VeraSEM 3Dで使用される二次測定器は、さまざまな光学技術を利用して表面構造の深さと特徴サイズを正確に測定する自律光学顕微鏡です。このツールは汎用性が高く、ウェーハ基板の範囲で幅広いフィーチャー寸法を測定することができます。この顕微鏡は、ウェーハ表面に存在するさまざまな種類の汚染物質の分布を測定することもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dアセットには、さまざまな高度なデータ収集および分析ツールが組み込まれています。これらのツールにより、ウェーハテストおよび計測に関与するプロセスを正確に自動化できます。このモデルは、他のシステムやソフトウェアともインタフェースすることができ、ユーザーはさまざまなソースから豊富なデータにアクセスすることができます。AMAT VeraSEM 3Dは、ユーザーがウェーハ製造のさまざまな側面を正確にテストおよび測定できる業界をリードする機器です。その機能と強力な機器の範囲は、このシステムは、任意の研究開発や生産環境にとって貴重な資産であることを確認します。
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