中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #293831591 を販売中

ID: 293831591
Metrology system.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dウェーハ試験および計測装置は、高度なアルゴリズムを使用してさまざまな半導体ウェーハの基板形態を測定する高速、高精度システムです。このユニットは、粒子、チップ、傷、および不均一な堆積物など、ウェーハ表面の危険や不規則性をすばやく検出します。この機械には、基板の形態を迅速に特徴付けるための一連の自動解析ツールと画像処理方法が含まれています。VeraSEMツールのハードウェアと光学系は、ウェーハ構造の高解像度SEM画像と非破壊試験データを迅速に取得するように設計されています。アセットの自動解析機能は、自動欠陥解析、表面粗さ測定、マルチレベル計測をサポートします。また、レーザーベースの3D測定モデルを使用して、さらに分析するためにエクスポートできる3Dマップ画像を生成します。装置のアルゴリズムベースの欠陥検出および画像解析アルゴリズムは、欠陥および汚染検出の精度と速度を向上させるように設計されています。このアルゴリズムはパターン認識、セグメンテーション、形状認識を使用して、欠陥を正確に特徴付ける。このシステムは、粒子のサイズや位置の特定から、チップや傷の特性評価、非均一な蒸着の測定まで、さまざまな分析を実行するようにプログラムすることができます。欠陥検出および解析に加えて、AMAT VeraSEM 3Dはウェーハ基板の形態特性を測定することも可能です。これには、基板の表面、界面、バルク特性の測定および分析を可能にする多くの機能が含まれています。それは細部の複数のレベルの表面の地形図、表面の粗さ、個々の特徴の表面積、厚さの変化および他の形態学的特徴を測定できます。アプライドマテリアルズVeraSEM 3Dは、基板ウェーハの表面形態を迅速かつ正確に特徴付ける優れたツールです。ウェーハ表面のさまざまな危険や不規則性をすばやく検出し、自動画像処理アルゴリズムと3Dマッピング機能を組み合わせることで、基板構造の詳細な解析と可視化を実現します。
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