中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #293668733 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D
販売された
ID: 293668733
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Metrology system, 12" 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dは、半導体技術と製造に使用するために設計されたウェーハ試験および計測装置です。その機能には、高度な計測、ウェーハマップ、3Dトポグラフィの後処理、グリッド化されたウェーハの認定、マスクテスト、および直角検査されたサーフェスが含まれます。このツールには、マルチチャネル電子ビームソース、コントロールコンソール、ユーザーインターフェイスなど、いくつかのコンポーネントが装備されています。電子ビーム源は、電子の制御されたパルスをサンプル表面に送り、高分解能のイメージングとトポグラフィ測定を可能にします。AMAT VeraSEM 3Dは、電子カラムを介して加速、減速、ビーム偏向の組み合わせを使用して、小さな特徴、非平面特性、および微細な表面テクスチャの輪郭を測定およびマッピングすることができます。検査では、電子ビームがスキャンされ、相互作用で生成された二次電子が3D表面マップの画像またはデータを収集するために使用されます。コントロールキャビネットは、APPLIED MATERIALS VeraSEM 3Dから収集したデータをオンボードの画像とデータ処理機能を提供します。このシステムを通じて、さまざまなパラメータと機能が制御され、監視されます。電子カラムの電流密度、スキャンされた電子の加速と減速の位相の長さ、およびその他のパラメータを調整するために使用できます。VeraSEM 3Dユーザーインターフェイスは、簡単な操作とデータ管理のために設計されています。ユニットを監視し、収集した画像や3Dサーフェスマップを視覚化するために使用できます。さらに、ユーザーインターフェイスは、スキャン領域、表示モード、および3Dトポグラフィ測定設定を定義するために使用されます。また、テストデータを保存するための記録機能を提供し、ユーザーインターフェイスのカスタマイズを可能にします。高度な計測機能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALTS VeraSEM 3Dは、半導体試験の新興アプリケーションに最適な候補です。高解像度イメージングとデータ処理を組み合わせて使用することで、ウェーハ表面上の小型および非平面特性を正確に測定およびマッピングできます。そのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、機械を操作しやすくし、特定のアプリケーションの要件に応じてカスタマイズを可能にします。
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