中古 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9390681 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dは、包括的なリソグラフィ製造試験および故障解析機能を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。フロントエンド構造と相互接続構造を含む半導体基板の単体構造とマルチレベル構造の両方を正確かつ効率的に特徴付けることができるさまざまな機能と機能を備えています。AMAT NANOSEM 3Dは、複数のプローブを高速で自動スキャンするためのマルチプローブナノマニピュレーションステージと、精密な測定と分析のための高解像度デジタルイメージキャプチャシステムを備えています。このユニットは、2次元および3次元（3D）の両方のフォーマットで最大1024 X 1024ピクセルの画像をキャプチャすることができ、微小偏差、厚さと材料堆積物の違い、基板の構造地形を評価する必要があるお客様に最適です。このマシンは、データファイルの自動プリプロセッシングツールとポストプロセッシングツールを提供する光学ツールキット、および直接データのインポートとエクスポートのためのソフトウェアサポートを含むさまざまなソフトウェアオプションで構築されており、テストデータの分析を容易にします。さらに、このツールはScanning Nanoprobe Manipulating Software （SNMS）などのさまざまなソフトウェアパッケージと統合されており、ユーザーはスキャンプローブを特定の基板に正確に移動できます。APPLIED MATERIALTS NANOSEM 3Dは、効率的な生産監視とデータロギングのための統合されたプロセス監視および制御システム、および温度に敏感な基板の熱制御を備えており、安定したウェハプロセスを実現しています。さらに、X/Yモーション用のメカニカルアクチュエータと、傾きとスキャン速度のクローズドループ制御用のモニターを備えています。さらに、深層トレンチエッチング、CMP、金属計測、高密度誘電体など、さまざまなプロセスに適用することができます。重要なプロセス手順と品質基準の品質管理を維持するために必要な精度と再現性を提供するために構築されています。