中古 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9293620 を販売中
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ID: 9293620
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dは、2D技術と3D技術を組み合わせて詳細な欠陥画像を生成する高度なウェハテストおよび計測機器です。高性能な電子ビームを搭載し、厚みを1ナノメートルに抑えた超高解像度の2D画像を作成できます。これまでにない解像度により、ウェーハレベルの欠陥の迅速な特定とその後の分析が可能になります。AMAT NANOSEM 3Dシステムは、高解像度のデジタル信号キャプチャ(DSC)を使用して、トランジスタやデバイスの電流のわずかな変化を微細なレベルでキャプチャします。これにより、光学顕微鏡によって生成された従来の画像では気づかなかった潜在的な欠陥を検出することができます。DSCと同様に、APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dマシンは、MRC (Metrology Raster Capture)技術を統合して3D画像を生成し、基板表面の誘電層の構造の微妙な変化を分析します。MRC技術は、強力なレーザービームを使用して表面にパターンを「書き込む」ことで、異なる材料や欠陥を強調するフィデューシャルマーカーを提供します。NANOSEM 3Dツールは、両方の3Dイメージング技術を使用して、ナノメートルスケールレベルの異常パターンを検出しながら、超高解像度で製品変動のリアルタイム測定を監視することができます。これにより、微妙な欠陥を迅速かつ効果的に検出し、製品の均一性を詳細なレベルで分析することができます。アセットはまた、物理的な欠陥を特定するために2Dおよび3Dビューを「切り替える」機能を視覚化します。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dモデルは、ユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスで、操作が簡単になるように設計されています。装置はユーザーの好み、運転者およびデータ分析の完全な制御そして自動化のための後処理に従ってカスタマイズすることができます。また、組み込みスクリプト言語も含まれており、ユーザーはデータ収集、分析、データ共有のためのカスタマイズされたスクリプトを作成できます。AMAT NANOSEM 3Dシステムは、超精密で高解像度のイメージングと強力な計測および欠陥検出ツールを組み合わせた高度なウェハテストおよび計測ソリューションです。強力な2Dおよび3Dイメージング技術、リアルタイム測定、自動化された分析の組み合わせは、比類のない画像解像度と欠陥検出機能をユーザーに提供する強力なユニットを作成します。
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