中古 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9280517 を販売中
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ID: 9280517
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2,000 V
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stage: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20 : 1
Tilt function: 15° (4 Directions)
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Prober current:
Low 5pA
Medium 10pA
High 20pA.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dは、ナノテクノロジー機器の特性評価において卓越した精度を提供するように設計されたハイテクなウェーハ試験および計測機器です。AMAT NANOSEM 3Dは、電子ビーム標準リソグラフィ、3Dイメージング、非接触、非均一測定などの最先端の技術を使用して、より迅速で正確なデバイス試験を可能にします。定位置制御と安定した照明を実現する高速マルチビームを搭載し、高精度で再現性の高い高品質な画像を提供します。アプライドマテリアルズNANOSEM 3Dは、高度なパターン認識アルゴリズムを使用して、回路設計における重要な特徴パラメータを特定します。特殊なアルゴリズムは、接触領域の近くのエッジを含むフィーチャーエッジを分析し、反転してもフィーチャーオリエンテーションを正確に識別できます。これにより、回路性能が向上し、試験および測定時間がより正確で効率的になります。NANOSEM 3Dには、高精度、非接触、非均一測定ユニットが含まれており、ナノメートルスケールの特徴の均一性を確保しています。このマシンは、C-V特性評価用の垂直および横方向のスキャンと、さまざまなウェーハ構造に簡単にカスタマイズできる複数のチャネル機能を備えています。テスト中のオーバーヘッドノイズを低減するために、AMAT/APPLIED MATERIALTS NANOSEM 3Dには独自のノイズ検出および絶縁ツールが含まれています。このアセットは、高度なパターン認識アルゴリズムを使用して、熱および電気を含むさまざまなノイズを識別します。この機能を使用すると、ユーザーは、発生する可能性のあるノイズ関連の問題をすばやく検出して特定できます。AMAT NANOSEM 3Dは、あらゆる生産環境のニーズに合わせて頑丈でカスタマイズ可能です。モジュラー設計により、モデルはあらゆるユーザーの要求に応えるように構成することができ、新しいアプリケーションを組み込むために素早く簡単に変更することができます。アプライドマテリアルズNANOSEM 3Dは、ナノテクノロジー機器の高度な分析を提供するために設計された包括的なウェーハ試験および計測機器です。その最先端の技術は、卓越した精度で迅速、正確かつ再現性のあるテストを可能にします。NANOSEM 3Dは、ナノテクノロジーの世界に革命をもたらします。
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