中古 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9121584 を販売中

ID: 9121584
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD SEM), 12" Install type: Stand alone (3) Cassette interface: FOUP, 12" Roll-around ergo station with touch screen Status lamp Options: Slope reconstruction CH analysis Profile grade Discrete inspection Defect review ARAMS (ES8) CE Marked Power requirements: 120/208 V, 8 A, Single phase / 3 Phase, 5-Wire, 50/60 Hz 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dは、ナノスケールの監視とプロセス制御のための重要な技術を組み込んだ先進的なウェーハ試験および計測機器です。AMAT NANOSEM 3Dは、10nm以下までのパターンを正確に測定し、広範囲のナノスケールで正確な3Dイメージングを可能にします。半導体、オプトエレクトロニクス、ナノ材料アプリケーションの幅広い分野で、加工、計測、欠陥解析など、さまざまな材料やプロセスを評価するために使用されます。APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dシステムは、特許取得済みのLDA (Lithography/Line Degradation Analysis)と電子顕微鏡(EM)トモグラフィーおよび自動材料解析ツールを組み合わせています。このユニットは、2D構造と3D構造の両方の正確な詳細を明らかにする完全な3D視野(FOV)画像と、ラインエッジ粗さ(LER)測定を提供します。LDA技術は、エッジの粗さを検出するための高度で自動化された機能を提供し、数ナノメートルまでの微細な機能を検出、定量化、特性評価することができます。NANOSEM 3Dシステムは、完全に自動化された画像キャプチャ機能、高スループット性能、およびデータのリアルタイム可視化を備えています。このマシンは、ウィザードとガイドを備えた使いやすいユーザーインターフェイスを備えており、効率的で便利な操作を可能にします。また、遠隔操作とローカル操作の両方、高解像度画像、4-Dイメージング、専門分析ツールなど、幅広い高度な機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3Dツールは、高品質で詳細なデータを提供しながら、プロセスフローを最適化し、分析時間を短縮するように設計されています。統合されたプラットフォームは、拡張スキャン深度上のパターンの広い領域の分析を可能にし、統合された方法で3D構造の完全なビューを可能にします。また、試験運用時に収集したデータを精密に解析し、各段階で正確な画像解像度を提供します。AMAT NANOSEM 3Dシステムは、計測および計測補助プロセス制御、欠陥検出および解析、ラインエッジの粗さ測定、ライン幅の測定など、さまざまなアプリケーションに適しています。半導体、オプトエレクトロニクス、ナノ材料製造プロセスに最適です。さらに、装置は特定のアプリケーションのカスタマイズされたソリューションに適しています。応用材料NANOSEM 3Dは、正確で信頼性の高い試験情報を得るための最先端のソリューションを提供します。
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