中古 ADE / KLA / TENCOR WaferSight #9235753 を販売中

ADE/KLA/TENCOR WaferSightは、特許取得済みの白色光干渉（WLI）技術に基づいた高度なインラインウェーハ試験および計測システムです。ADE WaferSightは、マクロ機能からナノスケール深度まで、あらゆる種類の表面を測定できる、費用対効果の高い非破壊的ウェハテストソリューションです。このシステムの革新的な設計により、サイクル時間の短縮と品質管理の改善が可能となり、ウェーハの欠陥検出および特性評価機能を提供します。KLA WaferSightの自動化されたセットアップにより、幅広いサイズ、材料、および形状のウェーハに素早く適応でき、プロセス欠陥とグローバル現象の両方を迅速に評価できます。さらに、インラインウェーハテストを提供し、インラインダイからウェーハ全体の測定まで、統計値と最小/最大値の両方に対応します。WaferSightに内蔵された光学系により、ウェーハ表面の高精度な3D測定が可能です。また、光学系は、特定の表面に可変トレースサンプリングを適用することも可能であり、非均一性の検出と詳細な表面特性評価を可能にします。これにより、ウェハレベルの欠陥検出と解析が強化され、正確な3Dおよびプロファイル測定が可能になります。TENCOR WaferSightは、光回折を使用して、CD、幅、平坦度の表面および特徴特性を測定することもできます。さらに、ADE/KLA/TENCOR WaferSightは、オーバーレイ計測、欠陥トレンドプロファイル分析、プロセスの均一性モニタリングなどの分析目的にも使用できます。ADE WaferSightのソフトウェアは、お客様のニーズに合わせてカスタマイズでき、プロセス制御ソフトウェアとの完全な統合と自動化への統合を提供します。可視化とレポートオプションは、リアルタイムWebブラウザ、PDF形式、または外部レポートジェネレータを介して利用できます。要約すると、KLA WaferSightはインラインウェーハ試験および計測システムであり、詳細な表面特性評価、正確な3Dおよびプロファイルの地形測定、およびプロセス制御に適した迅速で信頼性の高い測定を提供します。さらにカスタマイズ可能で、費用対効果の高いパフォーマンスを提供するため、半導体製造のプロセス監視および欠陥検出に最適です。