中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9800 #9397208 を販売中
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ID: 9397208
ウェーハサイズ: 6"
Wafer characterization system, 6"
Non-functional parts:
ASM 9800 E-Squared module
ASM Vacuum chuck, 200 mm diameter.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800は、効率的な製造プロセスに不可欠なウェーハレベルの情報を取得できる最先端のウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、自動化された電気試験、イメージング、およびマイクロ/ナノスケール計測アプリケーションに最適です。ADE UltraScan 9800は、0.05µmまでの高解像度でチップを画像化し、抵抗、容量、漏れ電流などの詳細な電気特性を高速で取得できます。この組み合わせ機能は、生産環境と開発環境の両方にとって非常に重要であり、個々のスポットに対して最大25kHzの画像処理速度を実現します。KLA UltraScan 9800は、0。2nmの高さ解像度で小さな欠陥や障害物を検出することができ、半導体業界で有利です。UltraScan 9800は直径200mmまでの半導体基板も測定でき、±0.02µmよりも再現性と精度が優れています。自動化されたビジョンユニットは、ダイセンターと個々のチップの迅速かつ正確な位置を実行し、異なる場所の異なる画像領域と解像度を処理する機能を備えています。TENCOR UltraScan 9800の最も印象的な機能は、ビジョン補償機能です。このマシンは、マッピング、オーバーレイ、イメージング補正など、さまざまなビジョンベースの操作を実行できます。高度なフィードバック制御システムを使用することにより、ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800のVision Compensationモジュールは、イメージング条件下でウェーハの所望のアライメントと位置を自動的に維持することができます。さらに、ウェーハ基板の広範囲にわたる0.1µmの欠陥を検出、検査、マッピングすることもできます。安全性に関しては、ADE UltraScan 9800はEU、米国、日本の規格に準拠しており、ユーザーフレンドリーなインターフェイスパネルが付属しています。すべての操作は潤滑なしで、FDA、 RoHSおよびCSAの規則に迎合的です。さらに、このツールは、APIキットを使用してお客様の既存のソフトウェアと統合することができ、より便利に使用できます。結論として、KLA UltraScan 9800は、正確で信頼性の高いウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適なソリューションです。このアセットは、高速イメージングおよび計測機能を備えており、生産および研究環境において信頼性の高い結果を提供するために設計されています。このモデルは、さまざまな安全規制に適合し、既存のソフトウェアと互換性があるため、半導体業界に最適です。
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