中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9222305 を販売中
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販売された
ID: 9222305
ウェーハサイズ: 8"
Wafer inspection system, 8"
Ultra controller: Series 350 ARM controller
1/2” Floppy – 5 1/4” floppy
High resolution probe
Non-contact capacitive probe measurement
Resolution: 10 um
Microns wafer thickness range: 400 to 800
Capable of measuring:
Lapped
Etched
Polished and patterned wafers
Measures bow and warp
Site and global flatness
Thickness with res station
System consist of:
(2) Cassette input stations
(3) Cassette output stations
Pre-aligner station
Hi-RES station
E-PLUS Advanced / Thickness, B/W station
Signal effector arm robot
9600 Power supply
Non contact P/N type tester for wafer resistivity from 0.1 to 200 ohm-cm
ADE 350 Arm controller
Auto A probe
ASC Controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600は、高性能で高精度なウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、サブミクロンの欠陥検出機能と大きなウェハ容量を提供します。27インチの大型タッチスクリーンモニターにより、ウェハテスト、検査、計測アプリケーションに便利で使いやすいインターフェースを提供します。ADE UltraScan 9600は、業界をリードする欠陥解析技術を備えており、サブミクロンの精度で欠陥を検出および特性評価することができます。このマシンのAutoDeck AutoTuneTMオートキャリブレーション技術は、複数のウェーハで正確なテスト結果を保証します。このツールはまた、ウェーハの配列を一度に処理することができ、高い歩留まりと短納期のための高スループットを提供します。KLA ULTRA SCAN 9600は、優れたステージ安定性と振動絶縁性を提供する高度なステージ制御アセットを備えており、モデルからのノイズを低減し、モジュールとウェーハ間のクロストークを排除します。さらに、この装置は高い振動耐性とRF除去を提供し、高いスループットと再現可能な試験結果をもたらします。このシステムは簡単に統合できるように設計されており、USBポートを使用してPCなどの外部システムに接続できます。発振機能は、クレードル内のウェーハ位置を調整することにより、高精度を保証します。さらに、このユニットにはドリフトまたはダメージの早期警告用のスマートアラームが含まれており、迅速かつ正確なトラブルシューティングが可能です。TENCOR ULTRA SCAN 9600には、さまざまな計測アプリケーションをサポートする高度なアルゴリズムのライブラリもあります。これらのアルゴリズムには、ウェーハの表面粗さ、厚さ、直線性、および非均一性の特性評価が含まれます。これらのアルゴリズムは、小さな寸法変更を検出し、自動データ分析を実行することができ、ユーザーはより迅速かつ正確な意思決定を行うことができます。UltraScan 9600は、自動変動トレンド、ソート、統計分析など、幅広いデータ分析ツールも提供しています。これらのツールは、機械の欠陥部品を識別し、最大の性能と信頼性を保証します。全体として、TENCOR UltraScan 9600は強力で信頼性の高いウェハテストおよび計測ツールです。優れた欠陥検出と資産性能のための高度な技術を提供し、その統合機能により、さまざまな計測アプリケーションに最適です。
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