中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9200036 を販売中

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600は、半導体産業のために作られた最先端のウェーハ試験および計測機器です。研究開発の科学者に、高度なウェハレベルの測定を行うための強力なモジュラーテスト機器を提供するように設計されています。UltraScanは、応力ひずみ、膜厚、表面特性、電気特性など、さまざまなテストパラメータの自動測定が可能です。ウェーハの構造、特性、化学組成を高精度で測定でき、幅広い表面および深層計測に使用できます。このシステムは、514mm²視野、12。6 μ mの画像スポットサイズ、および0。6nmの解像度を備えています。1時間に最大8個のウェーハを処理でき、必要な測定に応じて、1ウェーハあたり15〜40分のプロセス処理が可能です。この装置には、充電結合デバイス（CCD）センサーとウェハ表面の測定情報を検出する光学顕微鏡からなるイメージングマシンが装備されています。高精度なキャリブレーションにより、テストイメージの読み出し、分析、保存が可能です。このイメージングツールは、非接触表面アライメントのフォーカス、位置決め、および実行にも使用されます。このアセットは、シリコンオンインシュレーター、多層ウェーハ、薄膜、ポリシリコン、ウェハレベルのパッケージングなど、幅広いサンプルを取り扱うことができます。また、軸スキャン、ストレステスト、エッチング深さなど、さまざまな計測技術をサポートする機能も備えています。ADE UltraScan 9600は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスから制御および監視されます。ローカルまたは広域ネットワーク上でのデータ転送、分析、およびストレージをサポートします。ウェーハの自動診断・選別をサポートするソフトウェアモデルを内蔵しています。最後に、装置は容易な維持および修理のために設計されています。全体的に、KLA ULTRA SCAN 9600は、高精度の測定を提供し、ユーザー定義のアプリケーションの範囲をサポートすることができる強力なウェーハテストおよび計測システムです。