中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #293606848 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293606848
ヴィンテージ: 2003
Wafer metrology system
Single fork robot
ASC 2000
Hard Disk Drive (HDD)
Computer
E+ Station
No L
2003 vintage.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600は、ウェハテストと計測のための強力な装置です。この最先端の5軸ソリューションは、光学分光、共焦点顕微鏡、熱屈折顕微鏡、散乱顕微鏡などの高度な測定およびイメージング技術を幅広く提供し、現代の半導体デバイスで精密かつ高精度な欠陥特性評価を可能にします。ADE UltraScan 9600は、自動化されたステージ、さまざまなオプションウェーハマニピュレータ、およびクローズドループフォーカス/フォーカス制御システムを備えており、5軸平面全体で簡単かつ効率的なウェーハ処理を可能にします。このプラットフォームの包括的なエレクトロニクスパッケージとスキャン技術は、欠陥測定のための高度な精度と精度を提供し、直感的で効率的なユーザー操作を提供します。高解像度CCDイメージングユニットと強力なイメージステッチ機能により、ユーザーはリソグラフィ画像を素早くキャプチャ、保存、分析できます。さらに、KLA ULTRA SCAN 9600の高度な自動化機能は、非常に高いスループットとウェーハ間の整合性を提供し、ユーザーは表面上の微小な粒子、欠陥、その他の不規則性をすばやく識別することができます。その強力なソフトウェアスイートは、Webベースのデータ収集および分析インターフェイス、包括的な欠陥データベース、包括的な自動テストスイート制御など、さまざまな強力なツールも提供します。また、TENCOR ULTRA SCAN 9600は、特許出願中のオンウェーハウェーハキット機能を提供し、再現可能な結果を持つ小型デバイスの正確な製造を可能にします。強力な光学計測機能により、ユーザーはパターンを校正し、最小の機能のためのプローブを開発することができ、優れた精度と再現性を実現します。高度な画像処理技術と欠陥特性評価技術を組み合わせることで、さまざまな微細な欠陥を正確に検出して分離し、精度と歩留まりを向上させることができます。全体として、ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9600は、最も要求の厳しいユーザー向けに設計された優れたウェハテストおよび計測ツールです。高精度オプティクス、高度なオートメーション、強力なソフトウェアを備えたこのアセットは、大量のウェーハ製造に適しており、欠陥測定および解析における精度、速度、再現性の要求が高まっています。
まだレビューはありません