中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9281937 を販売中

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300ウェーハ試験および計測機器は、高度な半導体開発のために設計された高性能、非接触、マルチダイ計測機器で、比類のない性能と精度を実現します。特許取得済みのアーキテクチャにより、ウェーハ上で最大9300個の連続したダイの超高解像度イメージを数分で複数の視点から自動キャプチャできます。イメージングシステムは、4つの角度からウェーハ表面を積極的に照らすために、LEDの配列を使用します。この照明により、ダイのすべての機能が表示され、構造のコントラストが向上します。この照明と独自の光学系の組み合わせにより、1ピクセルあたり0。63 μ mの効果的な解像度で画像を形成することができます。一度収集されるraw画像データは、高度なアルゴリズムの統合されたスイートを使用して処理され、ダイの位置、サイズと形状、電気特性、デバイスレベルの歩留まり、欠陥などのさまざまなパラメータを測定します。測定の精度は、繰り返し画像の統計処理と機能指向計測を可能にする高度な非破壊検査機能によって保証されます。また、統合分析環境を導入し、結果のレビューとデータの効果的な可視化を実現しています。ADE UltraScan 9300には、イメージングおよびプロセス解析に加えて、測定結果の調整とアーカイブを支援する高水準のデータ管理ツールが含まれています。機械は自動測定の実行のためにプログラムすることができ、複数の実験室のオートメーションシステムとインターフェイスできます。この機能により、単一のウェーハからフルレチクルまで、あらゆる周波数でデータ収集を行うことができます。KLA ULTRA SCAN 9300は、イメージング、分析、結果管理のエキサイティングな組み合わせを提供し、産業および研究のウェーハ試験および計測に最適なツールです。広域カバレッジと非常に高解像度の機能により、ウェーハ上のすべての機能を正確に特徴付けることができます。高レベルのデータ管理機能を備えたTENCOR UltraScan 9300は、測定を長時間にわたって効率的に保存および取得できるため、貴重な研究ツールとなります。