中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9101898 を販売中

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300は、ウェーハ製造の高精度とスループットを実現するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、非誘導スキャン（CNIS）技術を使用して、完全なウェーハ表面を1つのパスで素早くスキャンし、迅速かつ再現性のあるウェーハメトロジーを提供します。レーザベースのスキャニングユニットにより、フロントサイドまたはバックサイドのトポグラフィ、参照フラット、バンプ高さ、パターン化されたフィーチャーなどのウェーハパラメータをウェーハ表面全体で測定できます。ADE UltraScan 9300は、迅速な測定速度とウェーハ表面へのダメージと振動を低減することにより、半導体製造に必要な精度と再現性を提供します。KLA ULTRA SCAN 9300は、精度と再現性を確保するために、多くの特許取得済みの機能を採用しています。その垂直ステージはウェーハ全体にわたって正確な測定を可能にし、その高いスキャン速度は迅速なサイクルタイムを可能にします。CNISスキャニングマシンは、Flexstageに取り付けられた光学顕微鏡を使用して、ウェーハに接触せずにスキャンし、ウェーハ表面を損傷することなく高精度を保証します。レーザベースのスキャニングツールは、振動と運動の成果物を排除し、測定精度を低下させます。UltraScan 9300はまた、統合されたプロセス制御とデータ分析を提供し、ウェーハ製造に最適な資産です。このモデルは、工具のパフォーマンスを追跡して、生産全体にわたって再現可能な結果を保証します。データ分析機能により、予測メンテナンス、ウェーハおよび欠陥マップ、欠陥トレンド分析、およびプロセス歩留まりが可能になります。また、さまざまなアルゴリズムや統計技術もサポートしています。ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300には、包括的なオンボード測定および計測ツールに加えて、ユーザーフレンドリーな操作のためのソフトウェアが含まれています。ソフトウェアはユーザー設定が可能で、特定のウェーハまたは本番環境に合わせてカスタマイズできます。また、データの読み取りと分析、グローバル設定、および結果のロギングとプロットのためのツールも含まれています。ULTRA SCAN 9300は、ウェーハテストと計測に最適な装置で、高いスループットで正確かつ再現性のある結果を提供します。その高度なCNISスキャン、統合されたプロセス制御、および構成可能なソフトウェアは、半導体製造に最適なツールです。