中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9036357 を販売中

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300は、製造工程での集積回路性能を測定できるウェハテストおよび計測機器です。オプトエレクトロニクス測定技術、ディフェクトイメージング、粒度解析などの複雑なメトリックを使用して、チップやサブシステムの不適合を検出するために使用されます。このシステムは、最大3つの同期制御イメージングモダリティ（レーザースキャッター（LS）、ダークフィールド（DF）、ブライトフィールド（BF））を提供し、視覚的に正確な欠陥識別と正確な自動欠陥分類を可能にします。欠陥認識は、線形、ベクトル、およびチップレベルの欠陥を識別できる強力なプログラミングアルゴリズムによって支援されます。ADE UltraScan 9300には、ウェーハデータ管理用のオンボードPC、データ精度検証用の高度なユニットフィードバックアルゴリズムも搭載されています。ハードウェアは4軸ロボット測定プラットフォームに統合され、ウェーハ間の一貫性を向上させ、誤報を低減します。上段偏光フィルタと光の散乱検出器を備えており、両方とも適応可能なパスバンドセンターを備えており、正確な測定が可能です。機能面では、レーザースキャッター（LS）やダークフィールド（DF）などの一次測定から入力し、コントラスト、解像度、ノイズ、バックグラウンドノイズ、均一性など、いくつかのパラメータを評価します。次に、測定データを有用なパフォーマンスメトリックに変換し、線形強度、ベクトル強度、およびダイツダイの均一性の分野でのデータキャプチャと分析を行います。このツールには、Smartyieldのソフトウェアの側面も含まれており、チップ上の個々の欠陥の追跡、および影響を受ける電気部品のその後の識別を可能にします。これにより、エンジニアは不適合を迅速かつ正確に分離し、それに応じて調整することができます。要約すると、KLA ULTRA SCAN 9300は高度なウェーハテストおよび計測資産であり、複数のイメージングモダリティ、多数のデータ解析方法、および強力なオンボードPCにより、データ管理とフィードバック監視を向上させます。個々の欠陥を追跡し、不適合を特定できるため、エンジニアは問題に迅速かつ効率的に対処できます。