中古 ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9245050 を販売中
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520は、高度な自動計測ソリューションの業界ベンチマークを設定する非常に洗練されたウェーハテストおよび計測機器です。この最先端のシステムは、精密技術、革新的な設計機能、堅牢なソフトウェア機能を組み合わせて、半導体製造プロセスにおいて比類のない精度、再現性、効率を提供します。ADE UltraGage 9520の中核となるのは、独自のアルゴリズムとセンサーシステムを活用して、重要なウェーハ測定タスクにおけるサブナノメートルの分解能と卓越した精度を実現する高度な測定技術です。高解像度光検査機、レーザー変位センサ、静電容量センサなど最新のセンサを搭載し、ウェーハの地形、厚さ、フィルムの均一性、欠陥検出データを正確にキャプチャし、比類のない精度と信頼性を実現しています。KLA 9520 UltraGageを別々に設定する主な機能の1つは、汎用性とモジュラー設計です。これにより、既存のウェーハ生産ラインにシームレスに統合し、特定の製造要件に合わせてカスタマイズできます。このツールは、シングルウェーハおよびバッチ処理モードを含むさまざまなウェーハハンドリング構成を提供するだけでなく、さまざまなウェーハサイズ、材料、プロセス技術との互換性を備えているため、研究開発および大量生産環境向けの汎用性の高いソリューションです。UltraGage 9520の直感的なユーザーインターフェイスと強力なソフトウェアプラットフォームは、高度なデータ分析ツール、可視化機能、リアルタイム監視機能をユーザーに提供し、検査と計測ワークフローを合理化します。このアセットは、包括的なウェハマップ、3Dトポグラフィ画像、および統計解析レポートを生成し、プロセスの最適化、欠陥根本原因分析、および半導体製造における品質管理の取り組みを容易にすることができます。9520 UltraGageは、高度な測定機能に加えて、高速なデータ取得速度、迅速なウェーハのロードとアンロード、および自動測定ルーチンにより、ダウンタイムを最小限に抑え、本番環境での生産性を最大限に高めるために設計されています。このモデルは、最新の半導体製造の厳しい要件を満たすように設計されており、堅牢な性能、信頼性、メンテナンスの容易さを提供し、お客様の継続的な運用の卓越性と長期的な価値を保証します。全体として、TENCOR UltraGage 9520は、精密測定技術、汎用性の高い設計機能、強力なソフトウェア機能を組み合わせた、半導体製造プロセスにおける優れたプロセス制御、歩留まり最適化、品質保証を可能にする、半導体業界におけるウェハテストおよび計測ニーズに対応する最先端のソリューションです。卓越した精度、信頼性、効率性を備えたKLA UltraGage 9520は、ウェハ製造における最高水準の品質、性能、革新を実現するために、半導体メーカーにとって信頼できるツールです。
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