中古 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9211013 を販売中
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ID: 9211013
ウェーハサイズ: 4"-8"
Wafer measurement system, 4"-8"
Single elevator
2D Contour map
ASC2000 Controller
Thickness centerpoint
Five point and full wafer scan
3 Point / Best fit reference: Bow and warp shape
500nm Design rule: Multifunctional dimensional measurements
GAST Vacuum pump
Data points: 8700 / 60 Seconds.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500は、マイクロエレクトロニクスにおける重要なコンポーネントの品質管理を確実にするために設計されたハイエンドのウェハテストおよび計測システムです。それはさまざまなパラメータの任意の数の正確な測定を提供することにより、厳しいマイクロエレクトロニクス業界に対応しています。9500は自動化されたプロセスに非常に適しており、ストリップおよびウェーハの重要なパラメータで業界をリードする速度と効率を提供します。内蔵の計測ステーションは、ウェーハの裏面特性評価、トランスデューサDCおよびACパラメータ、プラテンの高さ、および上昇力とは異なる多くの機能を測定します。9500は3Dレイヤープロフィロメトリーを提供し、ウェーハ表面の品質に関する正確な情報を提供します。その高分解能プロセスは、表面の欠陥を検出し、1um程度の損傷を検出することができます。独自の3D層認識アルゴリズムにより、正確な測定値を生成し、さまざまなウェーハを保存して比較することができます。この9500モデルはまた、二重光源校正、毎秒75mmまでのレイヤースキャン速度、および最大30のユーザー定義設定にカスタマイズ可能なホームページを備えています。その高度な計測機能は、使用される材料に基づいて異なる挙動を予測し、コストとテスト時間を削減するのに役立ちます。9500はまた、迅速な処理と分析時間で有名です。高度な後処理機能は、複数のレベルの分析で迅速に結果を生成し、追加のテストを実行する必要がなくなります。さらに、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)は、テストをカスタマイズするためのさまざまなプリセット構成を提供します。この9500モデル固有のGUIは、有用なリアルタイムフィードバックとすべての標準統計パラメータを提供し、テストプロセスを最大限に制御します。ADE Ultragage 9500は、ウェーハの重要な品質管理を確実にするために、幅広いパラメータを備えた最高の精度測定を提供します。KLA Ultragage 9500は、包括的な計測ツール、スタティックス、ポストプロセス機能、迅速な処理ソリューション、カスタマイズ可能なGUIを備え、マイクロエレクトロニクスのテストと品質管理に優れたシステムです。
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