中古 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9281713 を販売中

ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033Tは、ウェーハ製作時に薄膜の厚さと重大な寸法を測定する際に、高い精度と精度を実現するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、追加の高価な光学顕微鏡を必要とせずに、ウェーハ表面全体にわたる薄膜構造の高分解能、非破壊計測を提供します。これにより、ウェーハのテストと測定の信頼性と高速化が可能になり、最終的にウェーハ製造プロセスの歩留まりと生産性が向上します。このユニットは、最新の測定技術の迅速かつ正確な実装を保証する、硬化されたクローズドループ自動可能なプラットフォーム上に構築されています。このマシンは、高い光学分解能とデジタルイメージプロセッサを組み合わせて、ウェハ表面の地形寸法の詳細なマップを提供します。これにより、最小の機能でも正確な可視化と分析が可能になり、高速かつ正確な測定が可能になります。このツールには、2つの信号ビームと2つの検出器アレイが装備されており、幅広い相対的な基板材料およびアプリケーションで測定しながら、最大限の定義と精度を実現します。信号ビームと検出器アレイを組み合わせることで、1万回/秒を超える測定が可能です。これにより、高度なICやWLP構造に最適な計測ツールとなります。パフォーマンスを監視し、誤動作を検出するためのオンボードソフトウェアにより、アセットは継続的に独自のパフォーマンスを監視し、正確なスループットを確保するために必要に応じて修正を行うことができます。ADE Microsense 6033Tは、簡単なセットアップと操作を可能にする多くのユーザーフレンドリーな機能を備えています。これには、モデルのセンサーを正確に指し示すための自動アライメントルーチンと、シンプルなGUIベースのオペレータインターフェイスが含まれます。エリアスキャン、スキャン翻訳、エッジトレース、ライントレースなど、さまざまなモードも付属しています。これらは柔軟性を提供し、サイクルタイムのテストと測定をスピードアップします。全体として、ADEのKLA Microsense 6033Tは、ウェーハ表面の薄膜構造を高速、正確、かつ信頼性の高い試験および測定するために設計された高精度のウェーハ試験および計測機器です。スピード、精度、柔軟性を兼ね備えたこのシステムは、さまざまなウェーハ製造アプリケーションに最適です。