中古 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033 #9301382 を販売中

ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033は、高度なウェーハ技術における材料特性評価および自動計測ソリューションのための包括的なシステムです。このシステムは、レーザー干渉計ベースのスキャナ、処理ユニット、およびウェーハ試験用のパラメータを制御および測定するための一連の追加アクセサリで構成されています。レーザー干渉計スキャナは、特許取得済みの高分解能ベクトルライトセンサーを使用して高精度の測定を実現するように特別に設計されています。ステップハイト、表面粗さ、平坦度など、さまざまな地形データを素早く分析できます。処理ユニットには、2つの高解像度イメージセンサー、2つのデジタル信号処理（DSP）ユニット、および2つの独立した16ビット算術プロセッサがあり、データ処理を強化しています。また、リアルタイム画像解析用の4チャネルのデジタルイメージプロセッサと、最大32GBのメモリ容量を備えています。追加のアクセサリには、高さ調整が容易な多段式望遠鏡ヘッド、データ可視化のための高解像度カラーLCDディスプレイ、高速データ取得のための高速データ転送機能が含まれます。精度と再現性を確保するために、このシステムは特許取得済みのMPA （Multi-Pass Algorithm）をソフトウェアに使用して自動データ収集を行います。MPAは、単一のスキャンで複数のパスからのデータをコンパイルし、最高の精度を確保します。最適化されたスキャン速度は、データの品質を損なうことなく迅速な分析を保証します。さらに、このユニットは、データへのほこりの影響を低減するために、防振実装フィートや特殊なダストチャンバーなど、テスト中のサンプルを保護するための多くの機能を備えています。ADE Microsense 6033には、半導体ウェーハの特性評価から複雑な表面の表面汚染の測定まで、幅広い用途があります。また、基板上の誘電体、ガス、液体層の厚さを測定するために使用することができます。高精度、高速スキャン速度、高度な機能を備えたKLA Microsense 6033は、計測テストに最適であり、最も信頼性の高いウェーハテストおよび計測システムの1つであることが証明されています。