中古 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033 #9281712 を販売中

ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033は、ウェーハ切断エッジ、エッチング後のラミネーション厚、コーティング厚を精密に分析するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムにはさまざまな革新的な機能が含まれており、幅広いサンプルサイズで正確なテストが可能です。ADE Microsense 6033は、3軸サーボ制御ステージと高精度の光学計測ユニットを備えています。測定ユニットは、白色光の干渉計、楕円計、偏光計を組み合わせて、サンプルの厚さと層の厚さの絶対値と相対値の両方を提供します。また、ウェーハプロセスライブラリを備えており、測定の再現性とトレーサビリティを容易にします。サーボ制御ステージは、ウェーハ切断エッジの測定、エッチング後のラミネーション厚さ、コーティング厚など、幅広い自動試験を可能にします。また、メッキ厚、接着強度、平坦度、ラミネーション、表面テクスチャなどの高度な自動試験にも対応しています。KLA Microsense 6033は、100umと200mmのウェーハを最高精度で測定することができます。その他の機能としては、USB、 GPIB、およびRS-232インターフェースを介したスキャン、データ収集、データ分析などがあります。このツールは、SPCチャートやGage Repeatibility and Reproducibility （GR&R）チャートなどの測定値をグラフィカルに表示することもできます。TENCOR Microsense 6033は、精度、速度、信頼性の面で半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されています。アセットは、個々のアプリケーションの特定の要件に合わせてカスタマイズすることもできます。このモデルは、ウェーハVerifier-32やウェーハ検証装置Pro。 Microsense 6033などのさまざまなADE製品と統合することもできます。その高度な機能と自動化されたテストは、生産、プロセス開発、品質管理、研究室に最適な機器です。最も要求の厳しい仕事のために、ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033は優秀な再現性の精密な測定を得るための完全な解決です。