中古 ADE / KLA / TENCOR Microsense 4830 #9239558 を販売中

ADE/KLA/TENCOR Microsense ADE、 KLA、およびTENCORの4830ウェーハ試験および計測機器は、ウェーハ寸法およびアンダーレイヤの正確で大量の測定を目的として設計されています。ウェーハの厚さ、平坦度、粒度などの詳細な特性を測定する各種ツールを提供します。ADE Microsense 4830ユニットのコアは、超精密な非接触測定技術です。この方法により、センサは0。1マイクロメートルまでの精度でデータを読み取ることができ、解像度は1ナノメートルまでです。この測定技術は、光学位相シフト干渉法に基づいており、レーザー光を使用してウェーハの表面を正確に測定します。さらに、微粒子を検出し、0。1マイクロメートルから500マイクロメートルまでの粒子サイズを測定することができます。KLA Microsense 4830ツールは、半導体ウェーハの全面スキャン用に設計されています。アセットは、手動調整なしで最大200mmのウェーハに対応できます。また、毎回正確なウェーハ測定のための堅牢なキャリブレーションルーチンを備えています。TENCOR Microsense 4830モデルは、測定精度と精度に加えて、ウェーハ計測のための計測プロセスを統合しています。この装置は、追加の調整を必要とせずにウェーハの下層を分析することができます。このシステムは、基礎層の正確な3Dトポグラフィを提供し、2ナノメートル以内の深度データを収集することができます。Microsense 4830ユニットは、さまざまなツールやアクセサリーを含むオールインワンパッケージです。このマシンには、測定パラメータを制御するためのソフトウェアと、ウェーハ測定ツールの豊富なライブラリが含まれています。このツールには、ウェーハ測定ステーション、サンプルスキャンステージ、アクセサリーも含まれています。ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830アセットは、高精度で大量の測定を提供する高度なウェハテストおよび計測モデルです。非接触測定と広範な3Dトポグラフィ機能を備えたこの装置は、半導体および電子機器メーカーにとって非常に貴重なツールです。