中古 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301392 を販売中

ID: 9301392
Slice resistivity gage.
ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035は、ウェーハ製造における大量生産と品質保証のために設計された洗練されたウェーハ試験および計測機器です。コンパクトでモジュラー設計で、設置面積が小さく、サンプル調製要件が最小限に抑えられています。この装置は、傷、粒子、表面の欠陥などのウェーハの欠陥を迅速に識別する高度な画像処理サブシステムを中心に構築されています。また、カスタマイズ可能なサンプリングポイントと高精度レベルで、非破壊的な3D測定も実行します。ADE MicRhoSense 6035は、自動ナビゲーションとサンプル処理を可能にする統合ロボットシステムを搭載しています。このユニットはまた、サイドツーサイド給電操作と振動低減サンプルホルダーを備えた、大容量のウェハローディング用に構成されています。これにより、サンプルが迅速に輸送され、処理されますが、最高の精度で処理されます。KLA MicRhoSense 6035の欠陥検出機能は、統合されたインテリジェントイメージングプラットフォームによって部分的に駆動されます。この革新的なソフトウェアエンジンは、高度なアルゴリズムを使用してパーティクルの自動検出を可能にし、ウェーハの損傷のために平らなサンプルとパターン化されたサンプルの両方を分析します。この画像処理サブシステムは、個々のユーザーのニーズに応じて構成することができ、定期的、持続的、ランダムな欠陥など、さまざまな欠陥を識別することができます。また、MicRhoSense 6035はレーザースキャッターアレイを備えており、ウェーハの表面形状を高速かつ非接触で3Dマッピングできます。これにより、平面テクスチャと複雑な構造化サーフェスの両方に対して非常に小さなノイズレベルで正確な測定が可能になります。また、このマシンはハイスループット動作に最適化されており、サンプルあたりの推定取得時間は50秒です。最後に、生産性と使いやすさのために、TENCOR MicRhoSense 6035は自動化されたADEソフトウェアプラットフォームと互換性があります。これらにより、高度な計測アルゴリズムを備えたソフトウェアツールを使用して、1つのプラットフォームで簡単に統合および操作でき、迅速かつ正確なデータ分析が可能です。これらの機能と費用対効果により、ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035は、あらゆるウェーハ製造ニーズに対応する強力でユーザーフレンドリーなテストおよび計測ソリューションです。
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