中古 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9157018 を販売中

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035は、最高の効率、精度、および信頼性を実現するために設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。0〜6035アングストロームの電気的および光学的パラメータをウェーハレベルで測定し、ウェーハパフォーマンスに関する詳細な洞察を提供し、メーカーが製品をよりよく理解できるようにします。このシステムには、インライン反射測定用の伸縮デュアル軸反射計（ARDER）、ウェーハの標準的な上面および側面ビュー用の自動ウェハマッピング顕微鏡、および測定および分析用の高度なカラーイメージングおよび明るさデータが含まれています。6。035nmまでのウェーハスペクトルをフルにカバーすることで、集積回路（IC）と非ICの両方の試験片を柔軟に処理できます。ADE MicRhoSense 6035は、最大230dBsの高いダイナミックレンジと、狭い特徴、細い線、薄い層での金型測定に適した5mmの最小線幅を備えています。さらに、高スループットで幅広い材料を処理し、信頼性の高い校正と検証を提供します。自動利得とオフセット補正アルゴリズムを搭載し、精度と再現性を向上させます。自動化されたインプロセス診断に使用できるセルフテスト（自動欠陥検査）機能も内蔵しています。KLA MicRhoSense 6035は高度にカスタマイズ可能で、データ評価および分析用の高度なソフトウェア、ビームスプリッタや偏光器などのアクセサリ、および幅広い微小検査および計測ツールなど、幅広いオプションを提供します。このツールは、最大の効率と精度のために設計されており、フォルト解析、プロセス制御、欠陥検出および資格など、ウェーハ製造のさまざまなアプリケーションに適しています。この資産は、製造およびエンジニアリングチーム、ならびに半導体企業およびウェハ製造施設向けの包括的なソリューションを提供します。