中古 ADE / KLA / TENCOR HWM 9800 #9224635 を販売中

ADE/KLA/TENCOR HWM 9800は、試験精度と再現性を向上させながら、厳しい測定目標を達成できるように設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。インラインとエンドオブラインの両方で使用でき、測定範囲は2〜30ミクロンです。このシステムは、信頼性の高いテスト結果を保証するために、自動パラメータチューニングと包括的なデータレポートを備えています。ADE HWM 9800は、硬化した表面や3D構造など、さまざまな材料や構造からの柔軟な測定を可能にする高度な光学アーキテクチャを内蔵しています。このユニットは、CD-SEMや光学散乱計など、さまざまな計測手法でさまざまな種類のウェーハを正確に測定するために使用できます。高度な光学系は、高いレベルの測定の再現性と精度を確保し、プロセス全体にわたってプロセスと製品の追跡を可能にします。このマシンは、自動テストシーケンスの生成、校正の最適化、プロセス制御、データロギングなどの高度なソフトウェアを備えています。ソフトウェアはまた、テストサイクルを合理化し、結果を視覚化するのに役立つ強力なデータ管理ツールを提供しています。これにより、オペレータは必要な情報を迅速かつ簡単に取得できます。このツールはまた、ウェーハテストと計測オプションの広い範囲をサポートしています。欠陥検査、オーバーレイ測定、パラメトリックテスト、SFMマッピングなど、さまざまな用途に使用できます。KLA HWM 9800はまた、迅速かつ正確にウェーハを測定できるように、高速ローディングや自動校正など、さまざまなウェーハ処理オプションを提供しています。さらに、TENCOR HWM 9800は、測定の信頼性を向上させるための真空アセットを内蔵しています。また、レーザーアライメント装置を搭載し、センサの正確なアライメントと最適な精度と再現性を確保しています。全体的に、HWM 9800は、より正確で信頼性の高いテスト結果を可能にする豊富な機能を提供する高度なウェーハテストおよび計測システムです。さまざまなユーザーの要件に合わせてさまざまな機能を提供し、自動化された機能と強化された計測機能により、最高品質の測定とテスト結果を保証するための優れた選択肢となります。