中古 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293771675 を販売中
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は半導体材料の物理的、電気的、およびオプトエレクトロニクス特性を測定するために設計された半自動ウェハテストおよび計測装置です。このシステムは、外観検査および自動欠陥分類、ウェーハマッピングおよび抵抗試験、ならびにウェーハ表面および裏面検査用の統合された光学イメージングステーションを提供します。ADE AFS 3220は、プログラマブルブリッジ付きの光学顕微鏡と150mmデュアルヘッドの操作性を備えており、ウェーハの両側を高精度に検査できます。高分解能の偏光反射（PLR）検査オプションにより、酸化物やCARIなどの材料の分析が容易になります。このユニットには、半導体デバイスの迅速な電気試験のための最も人気のあるツールの1つである最大4つの測定間検査（MWI）レーザーダイオードも含まれています。この高精度の統合された機械は装置変数の正確な、反復可能な読取りを提供し、欠陥の高速電気位置取りを可能にします。カメラワークステーションは、パラメータ計測、画像解析、リアルタイム欠陥マスキングを可能にするためのツールに含まれています。自動欠陥分類（ADC）により、ユーザーは特性に基づいて欠陥をすばやく見つけて分類できますが、ウェハマッピング機能はウェハ構造とデータパターンを瞬時に概観できます。ウェハマッピングは、部分とフルハイトウェハの両方に適用できます。KLA AFS 3220は、オペレーション、信頼性、資産統合のための業界最高の要件を満たすように設計されています。その堅牢なコンポーネントとソフトウェアは、最高のデータ精度とモデルの安定性を確保するように設計されています。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、メンテナンスとトレーニングを最小限に抑える必要があります。その複数のツールアクセスとオプション機能により、シングルからマルチユーザーソリューションまで、さまざまなお客様固有のアプリケーションに構成することができます。一方、スケーラビリティにより、時間をかけて結果を生み出し続ける投資となります。TENCOR AFS 3220ウェーハテストおよび計測機器は、自動ウェーハ検査、欠陥分類、電気試験のすべてのニーズを満たすための統合ソリューションとして設計されています。このシステムは、生産歩留まり、精度、コスト削減を最大限に可能にし、高度なマイクロエレクトロニクスの開発と生産に必要な完全かつ一貫した情報を提供します。
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