中古 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757418 を販売中
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ADE AF S3220は、半導体業界向けの高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最先端のイメージングおよび計測技術を使用して、ウェーハやその他の半導体デバイスを検査、測定、分析します。ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は、クローズドループのフィードバック制御機で動作する自動高速ユニットです。このプロセスにより、ナノメートルレベルの精度でウェーハおよび薄膜層の正確な表面測定が保証されます。このツールは、直径8インチ(203。2 mm)までのサイズの範囲のウェーハをテストすることができます。さらに、ADE AFS 3220は20mmから450mmまでの視野が設定可能です。KLA AFS 3220には、精密ウェハテストのための高度なイメージングおよび計測技術が組み込まれています。これには、ウェーハの特徴を正確に測定し、高コントラスト画像を生成するPhase Coded Defocusing (PCD)が含まれます。高速シャッタースキャンを使用して、奥行きのある立体画像を素早く取得します。Scanning Electron Microscopy (SEM)は電子ビームの下で表面の地形の詳細なビューを提供します。さらに、処理された断面を顕微鏡的に検査して潜在的な欠陥を検出するケミカルミリングによって、サブサーフェスメトロロジー機能が有効になります。AFS 3220アセットはまた、効率的なテストと分析を可能にするいくつかの高度な機能を備えています。これには、潜在的な欠陥の迅速かつ効率的なレビューを可能にするインライン欠陥レビューモデルが含まれます。自動化された欠陥の分類と検出により、定期的な手動検査に要する時間を最小限に抑えます。また、ダイ認識装置は、ダイのパターンを視覚的に認識することができます。結論として、TENCOR AFS 3220ウェハテストおよび計測システムは、半導体試験において信頼性が高く効率的なソリューションです。このユニットは、最先端のイメージングと計測技術と、位相コード解除、高速シャッタースキャン、インライン欠陥レビューなどの高度な機能を組み合わせています。さらに、ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は、さまざまなタイプのウェーハとサイズに対応するための設定可能な作業範囲を備えています。ADE AFS 3220は、半導体メーカーにとって不可欠なツールであり、効率的で信頼性の高いウェーハ試験および計測機能を提供します。ウェーハなど半導体デバイスを高精度に試験・解析するための信頼性の高いツールです。
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