中古 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293660055 を販売中

ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は、計測およびウェハ検査に使用されるハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、マルチチャンネルレーザー遮断干渉計と3Dレーザー表面プロファイラで構成されています。レーザーチャネルは64個で、ウェーハとダイの両方で表面形状の測定とイメージングに使用されます。また、ADE AFS 3220は、表面データ分析とウェーハ検査を提供するためのソフトウェアアプリケーションの配列も提供しています。KLA AFS 3220のレーザーシャーリング干渉計は、2つのレーザーと分割ビームを使用してサンプルの表面高さを測定するように設計されています。これにより、幅広い表面にわたって高精度な測定が可能になります。3Dレーザーサーフェスプロファイラは、高解像度スキャンユニットを使用して、サンプル表面の詳細なビューを提供します。それは200mmまでの区域のサブナノメートルの精密の地形を点検できます。AFS 3220には、データ分析およびウェーハ検査用のソフトウェアアプリケーションもいくつかあります。これには、ウェーハトポグラフィと欠陥検出の自動解析用のソフトウェアパッケージであるWaferMap™が含まれます。もう1つのツール、Deformetrica™は、サンプルの表面高さを3次元で測定および分析するように設計されています。また、ウエハ欠陥を示すサンプル表面のパターンを検出・解析することができます。TENCOR AFS 3220は、ウェーハおよび金型表面の高精度な測定に使用される強力なウェーハ試験および計測機です。ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は、レーザー遮断干渉計と3Dレーザー表面プロファイラを備え、表面地形の詳細なビューを提供し、ウェーハ欠陥の迅速な検出と特性評価を可能にします。さらに、その一連のソフトウェアは、サンプル表面の高さとパターン測定機能の自動解析を提供します。ADE AFS 3220は、ウェーハテストと計測のための完全なソリューションを提供します。