中古 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645326 を販売中
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220ウェーハテストおよび計測機器は、高度な画像検査、完全統合計測、およびさまざまなウェーハパラメータの評価を可能にする自動ウェーハハンドリング技術を組み合わせた堅牢なシステムです。ADE AFS 3220は、独自の「デュアルエネルギー」イメージングおよび高度な計測システムにより、半導体製造業界で使用され、シリコン基板上の粒子、バンプ、およびその他の欠陥の均一性を識別および測定します。このユニットは、特許取得済みのデュアルエネルギーイメージング技術を使用して設計された最初のもので、2つの画像を一度にキャプチャでき、それぞれの画像は異なる波長スペクトルを表します。これにより、ウェーハ表面の粒子、バンプ、その他の不規則性を詳細に分析し、同様の基板間で効率的な比較を行うことができます。また、KLA AFS 3220は高度な計測機能を備えており、ウェーハ表面の粒子、バンプ、その他の不規則性の正確な測定と特性評価を可能にします。これには、フィーチャーのサイズ、形状、位置を測定する機能、およびウェーハの表面全体の変化を示すデータを生成する機能が含まれます。このマシンには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとAFS 3220からウェーハをロードおよびアンロードできる自動ロボットを活用する自動ウェーハハンドリングツールも含まれています。これにより、ウェーハは安全で安全で効率的な方法で処理され、ダウンタイムを削減し、検査プロセスの全体的な速度と精度を向上させます。AFS 3230は、高スループットで費用対効果の高い設計となっており、単一の自己完結型アセットで正確で信頼性の高い結果を提供します。このモデルは、様々な基板上の不規則性、欠陥、ソート、および測定粒子、バンプ、およびその他の不規則性を自動的に再現可能かつ一貫した方法でチェックすることができます。TENCOR AFS 3220は、高度なイメージングおよび計測機能と自動ウェハハンドリング装置を組み合わせることで、半導体メーカーに最適なソリューションを提供し、生産ラインを最高の品質と効率で稼働させます。
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